[实用新型]一种电容薄膜加工用蒸镀设备有效

专利信息
申请号: 201922295688.1 申请日: 2019-12-19
公开(公告)号: CN211339670U 公开(公告)日: 2020-08-25
发明(设计)人: 徐明强;陈文亮;张勇 申请(专利权)人: 南通百正电子新材料股份有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/56
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 严志平
地址: 226500 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 电容 薄膜 工用 设备
【权利要求书】:

1.一种电容薄膜加工用蒸镀设备,包括蒸镀设备主体(1)、清理机构与限位机构,其特征在于:所述清理机构包括玻璃钟罩(2),所述玻璃钟罩(2)处于蒸镀设备主体(1)顶端一侧,所述蒸镀设备主体(1)顶端表面设置有固定环(5),所述玻璃钟罩(2)底端表面设置有固定圈(4),所述固定圈(4)处于固定环(5)顶端表面一侧,所述固定圈(4)顶端一侧设置有压块(8),所述固定环(5)一端开设有孔洞(7),且所述压块(8)一端贯穿于孔洞(7)内侧,所述压块(8)顶端设置有螺栓(6),所述螺栓(6)底端贯穿于压块(8)内壁处于固定圈(4)顶端外侧,所述固定圈(4)底端设置有凸块(9),所述固定环(5)顶端开设有第一卡槽(10),所述凸块(9)处于第一卡槽(10)内侧,所述第一卡槽(10)内壁设置有密封圈(11)。

2.根据权利要求1所述的一种电容薄膜加工用蒸镀设备,其特征在于:所述限位机构包括限位杆(13),所述限位杆(13)处于蒸镀设备主体(1)底端表面,所述蒸镀设备主体(1)底端表面开设有限位槽(12),所述限位杆(13)一端处于限位槽(12)内侧,所述限位杆(13)处于蒸镀设备主体(1)外侧的外表面设置有限位块(15),所述限位块(15)顶端开设有槽体(16),所述限位杆(13)一端贯穿于槽体(16)内侧,所述限位杆(13)底端设置有垫板(19),所述限位块(15)外侧设置有转杆(17),所述限位块(15)外侧开设有第二卡槽(18),且所述转杆(17)一端处于第二卡槽(18)内侧。

3.根据权利要求1所述的一种电容薄膜加工用蒸镀设备,其特征在于:所述蒸镀设备主体(1)顶端一侧设置有操作台(3),所述操作台(3)前表面设置有按键,所述按键一侧设置有显示屏。

4.根据权利要求1所述的一种电容薄膜加工用蒸镀设备,其特征在于:所述压块(8)与孔洞(7)为滑动连接,所述固定圈(4)通过压块(8)、螺栓(6)与固定环(5)卡合连接。

5.根据权利要求1所述的一种电容薄膜加工用蒸镀设备,其特征在于:所述固定环(5)截面呈L型,所述固定环(5)固定连接于蒸镀设备主体(1)顶端外侧。

6.根据权利要求2所述的一种电容薄膜加工用蒸镀设备,其特征在于:所述限位杆(13)处于限位槽(12)内壁的外侧顶端设置有挡块(14),所述限位杆(13)与限位槽(12)为滑动连接。

7.根据权利要求2所述的一种电容薄膜加工用蒸镀设备,其特征在于:所述限位杆(13)外壁设置有第一外螺纹,所述槽体(16)内壁设置有第一内螺纹,所述槽体(16)内壁第一内螺纹通过旋合限位杆(13)的第一外螺纹与限位杆(13)固定连接。

8.根据权利要求2所述的一种电容薄膜加工用蒸镀设备,其特征在于:所述转杆(17)外侧一端设置有第二外螺纹,所述第二卡槽(18)内壁设置有第二内螺纹,所述第二卡槽(18)内壁的第二内螺纹通过旋合转杆(17)的第二外螺纹与转杆(17)固定连接。

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