[实用新型]一种三氯硅烷的充装装置有效
| 申请号： | 201922164966.X | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN211253120U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 王占峰;杨利;于青玉 | 申请（专利权）人： | 浙江西亚特电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B65B3/04 | 分类号： | B65B3/04;B65B3/28 |
| 代理公司： | 衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙) 33282 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 324000 浙江省衢州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型的技术方案是这样实现的：一种三氯硅烷的充装装置，其特征在于：包括储存罐、泵体、废液处理组件、充装组件以及清洁组件，所述储存罐的出液口通过输液管与泵体的输入端连接，所述输液管上在靠近储存罐方向设置有第一阀门；所述废液处理组件包括反应罐，所述反应罐通过废液管和泵体连接，所述废液管上设置有第二阀门；所述充装组件包括充装管和充装罐，所述充装管的两端分别连通输液管和充装罐，所述充装管上设置有第三阀门；所述清洁装置包括第一清洁管、第二清洁管以及储气筒，所述第一清洁管上设置有第四阀门，所述第二清洁管上设置有第五阀门；本实用新型的有益效果是：结构简单，操作方便，充装三氯硅烷稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 装置 | ||
【主权项】：
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