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- [发明专利]气体分离提纯装置-CN202110966748.7有效
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程海翔;杨利;陈志明;王玉林
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衢州学院;浙江西亚特电子材料有限公司
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2021-08-23
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2023-06-16
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B01D46/54
- 本发明涉及气体提纯技术领域,公开了一种气体分离提纯装置,包括气体分离仓、分离组件、第一驱动机构以及控制器。气体分离仓沿其长度方向设有多个贯通其侧壁的缺口,缺口内皆设有分离组件。分离组件包括分离部和流通部,分离部能够过滤气体,缺口处设有转轴,分离部和流通部分别与转轴的侧壁连接。分离部通过转轴能够进入或退出缺口处,将缺口处闭合或打开,与此同时,流通部能够退出或进入缺口处,将缺口处打开或闭合。第一驱动机构同于驱动转轴转动,控制器与第一驱动机构电连接。本发明能够通过驱动装置改变气体分离仓内分离部的数量,从而改变设备对气体分离提纯的效果,以制备出不同纯度的气体,提高设备的实用性,满足客户的多样化需求。
- 气体分离提纯装置
- [发明专利]一种三氯硅烷尾气吸收的装置-CN202210716338.1在审
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杨利;白占旗;陈甫
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浙江西亚特电子材料有限公司
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2022-06-22
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2022-10-11
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B01D53/78
- 本发明公开了一种三氯硅烷尾气吸收的装置,包括液体升温存储箱、第三输气管和控制箱,所述液体升温存储箱内缠绕有蛇形进气管,且蛇形进气管一端与第一排气管相连通,同时液体升温存储箱上固定有搅拌自清洁组件,所述第一排气管上固定有气体增压机构,所述第三输气管一端与第一尾气处理组件相连通,所述第四输气管一端与有毒气体处理组件相连通,所述第一尾气处理组件通过排水管与盐酸液体存储罐相连通。该三氯硅烷尾气吸收的装置,本发明可对三氯硅烷尾气进行预升温处理,可对液体升温存储箱内起到搅拌作用,可对三氯硅烷尾气进行预处理,可对预处理时产生的蒸馏水进行收集使用,可再次对三氯硅烷尾气有害气体进行处理的优点。
- 一种硅烷尾气吸收装置
- [实用新型]气体分离设备-CN202122252301.1有效
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程海翔;王玉林;杨利
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衢州学院;浙江西亚特电子材料有限公司
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2021-09-16
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2022-01-11
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B01D53/00
- 本实用新型涉及气体分离技术领域,公开了一种气体分离设备。包括进气箱、冷却器、压缩机、精馏塔、出气箱以及收集器。进气箱具有进气口和出气口,进气箱通过管道与冷却器的入口端连接。冷却器的出口端通过管道与压缩机的入口端连接。压缩机的出口端通过管道与精馏塔的入口端连接。精馏塔的出口端通过管道与出气箱的入口端连接。出气箱的顶部设有第一出口端,底部设有第二出口端,第一出口端通过管道与收集器连接。本实用新型能够通过进气箱对气体进行预处理,压缩机将气体压缩成液体进入精馏塔,利用各气体不同的沸点将其蒸发依次排入至出气箱,在出气箱内通过筛分组件再次对气体进行筛分,将得到的高纯度气体排入收集器内储存,便于使用。
- 气体分离设备
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