[实用新型]一种三氯硅烷的充装装置

权利要求书

1.一种三氯硅烷的充装装置，其特征在于：包括装有三氯硅烷的储存罐、用于提供动力的泵体、废液处理组件、充装组件以及清洁组件，所述储存罐的出液口通过输液管与泵体的输入端连接，所述输液管上在靠近储存罐处设置有第一阀门；所述废液处理组件包括装有反应液的反应罐，所述反应罐的进液口通过废液管和泵体的输出端相连接，所述废液管上设置有第二阀门；所述充装组件包括充装管和充装罐，所述充装管的两端分别连通所述输液管和充装罐，所述充装管的一端连接于输液管上靠近泵体的一端，该充装管的另一端与充装罐的进液口连接，所述充装管上在靠近充装罐的一端还设置有第三阀门；所述清洁组件包括第一清洁管、第二清洁管以及装有稳定气体的储气筒，所述第一清洁管的一端与储气筒连通，该第一清洁管的另一端与所述输液管连通且连接在输液管上靠近第一阀门处，所述第一清洁管上在靠近输液管处设置有第四阀门，所述第二清洁管的一端与储气筒连通，该第二清洁管的另一端与所述废液管连通且连接在废液管上靠近第二阀门处，所述第二清洁管上在靠近废液管的一端设置有第五阀门。

2.根据权利要求1所述的一种三氯硅烷的充装装置，其特征在于：所述反应罐内的反应液为碱液。

3.根据权利要求2所述的一种三氯硅烷的充装装置，其特征在于：所述废液处理组件还包括收气罐，所述收气罐通过收气管和反应罐相连通，所述收气管的一端连接于反应罐上端面，该收气管的另一端与收气罐上端面连接。

4.根据权利要求1所述的一种三氯硅烷的充装装置，其特征在于：所述充装组件数量为三组，且所述充装管上安装有用于显示并控制充装管内流量的流量控制器。

5.根据权利要求1所述的一种三氯硅烷的充装装置，其特征在于：所述储气筒内气体为氮气，且该储气筒底壁还设置有一层生石灰。

6.根据权利要求1所述的一种三氯硅烷的充装装置，其特征在于：所述第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门和第五阀门均为电控阀门，且均通过远程控制器进行控制。