[实用新型]一种三氯硅烷的充装装置

说明书

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种三氯硅烷的充装装置，其特征在于：包括储存罐、泵体、废液处理组件、充装组件以及清洁组件，所述储存罐的出液口通过输液管与泵体的输入端连接，所述输液管上在靠近储存罐方向设置有第一阀门；所述废液处理组件包括反应罐，所述反应罐通过废液管和泵体连接，所述废液管上设置有第二阀门；所述充装组件包括充装管和充装罐，所述充装管的两端分别连通输液管和充装罐，所述充装管上设置有第三阀门；所述清洁装置包括第一清洁管、第二清洁管以及储气筒，所述第一清洁管上设置有第四阀门，所述第二清洁管上设置有第五阀门；本实用新型的有益效果是：结构简单，操作方便，充装三氯硅烷稳定。

技术领域

本实用新型涉及物料充装技术领域，尤其是一种三氯硅烷的充装装置。

背景技术

三氯硅烷又称三氯氢硅、硅氯仿，用作高分子有机硅化合物的原料；三氯硅烷不仅是制造硅烷偶联剂和其它有机硅产品的重要中间体，还是制造多晶硅的主要原料，三氯硅烷在常温常压下为具有刺激性恶臭易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟；吸入三氯硅烷气数分钟后，表现兴奋，呼吸反射障碍，呼吸器官有炎症。溅在皮肤上可引起坏死，溃疡长期不愈。

三氯硅烷的使用往往伴随着充装，需要将三氯硅烷充装到瓶中便于使用，现有的三氯硅烷充装装置结构复杂，充装三氯硅烷不稳定。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种结构简单且充装稳定的三氯硅烷的充装装置。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种三氯硅烷的充装装置，其特征在于：包括装有三氯硅烷的储存罐、用于提供动力的泵体、废液处理组件、充装组件以及清洁组件，所述储存罐的出液口通过输液管与泵体的输入端连接，所述输液管上在靠近储存罐处安装有第一阀门；所述废液处理组件与泵体的输出端连接，所述废液处理组件包括装有反应液的反应罐，所述反应罐的进液口通过废液管和泵体的输出端相连接，所述废液管上安装有第二阀门；所述充装组件包括充装管和充装罐，所述充装管的两端分别连通所述输液管和充装罐，所述充装管的一端连接于输液管上靠近泵体的一端，该充装管的另一端与充装罐的进液口连接，所述充装管上在靠近充装罐的一端还安装有第三阀门；所述清洁组件包括第一清洁管、第二清洁管以及装有稳定气体的储气筒，所述第一清洁管的一端与储气筒连通，该第一清洁管的另一端与所述输液管连通且连接在输液管上靠近第一阀门处，所述第一清洁管上在靠近输液管的一端设置有第四阀门，所述第二清洁管的一端与储气筒连通，该第二清洁管的另一端与所述废液管连通且连接在废液管上靠近第二阀门处，所述第二清洁管上在靠近废液管的一端设置有第五阀门。

优选为：所述反应罐内的反应液为碱液。

优选为：所述废液处理组件还包括收气罐，所述收气罐通过收气管和反应罐相连通，所述收气管的一端连接于反应罐上端面，该收气管的另一端与收气罐上端面连接。

优选为：所述充装组件数量为三组，所述充装管上安装有用于显示并控制充装管内流量的流量控制器。

优选为：所述储气筒内气体为氮气，且该储气筒底壁还设置有一层生石灰。

优选为：所述第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门和第五阀门均为电控阀门，且均通过远程控制器进行控制。