[实用新型]场效晶体管结构有效
申请号: | 201921978963.3 | 申请日: | 2019-11-15 |
公开(公告)号: | CN210692544U | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 廖昱程;刘峻志 | 申请(专利权)人: | 江苏时代全芯存储科技股份有限公司;江苏时代芯存半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/10 |
代理公司: | 北京先进知识产权代理有限公司 11648 | 代理人: | 邵劲草;张雪竹 |
地址: | 223300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种场效晶体管结构,包含基板、源极汲极部、介电层、闸极以及闸极。源极汲极部形成于基板上,并且源极汲极部包含源极与汲极。介电层与源极汲极部形成于同一层并电性隔离源极与汲极。闸极构成与源极汲极部位于不同层。闸极构成包含闸极导电层以及闸极绝缘层,闸极导电层形成于介电层上,且闸极绝缘层形成于闸极导电层上并包覆闸极导电层。半导体层形成于闸极绝缘层上并包覆该闸极绝缘层。闸极构成介于介电层与半导体层之间。源极汲极部耦接于半导体层,且通过施加电压于闸极导电层,以于半导体层中形成通道。 | ||
搜索关键词: | 晶体管 结构 | ||
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