[实用新型]一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其包括反应容器和测量组件，反应容器具有至少两个气体进口，每个测量组件的两端分别连接在外部气源与气体进口之间。每个测量组件均包括第一流量计、第一控制阀、第二流量计和第二控制阀，第一流量计的一端与气体进口相连，另一端与外部气源相连，第一控制阀为两个，其中一个第一控制阀设在第一流量计与气体进口之间，另一个第一控制阀设在第一流量计与外部气源之间，第二流量计与第一流量计并联设置，第二控制阀为两个，两个第二控制阀分别设在第二流量计的两端，第二流量计可拆卸的连接在两个所述第二控制阀之间。该管式镀膜装置能够快速的锁定异常流量计，检测速度较快。