[实用新型]一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其包括反应容器和测量组件，反应容器具有至少两个气体进口，每个测量组件的两端分别连接在外部气源与气体进口之间。每个测量组件均包括第一流量计、第一控制阀、第二流量计和第二控制阀，第一流量计的一端与气体进口相连，另一端与外部气源相连，第一控制阀为两个，其中一个第一控制阀设在第一流量计与气体进口之间，另一个第一控制阀设在第一流量计与外部气源之间，第二流量计与第一流量计并联设置，第二控制阀为两个，两个第二控制阀分别设在第二流量计的两端，第二流量计可拆卸的连接在两个所述第二控制阀之间。该管式镀膜装置能够快速的锁定异常流量计，检测速度较快。

技术领域

本实用新型涉及光伏设备技术领域，尤其涉及一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置。

背景技术

管式镀膜装置在镀SiNx(氮化硅)时，在工艺参数未变动情况下出现整舟电池片膜色偏厚或偏薄的异常现象通常是由一般由SiH4(硅烷)流量计或NH3 (氨气)流量计实际值与显示值不同步导致，也就是说在工艺参数未变动情况下出现整舟电池片膜色偏厚或偏薄的异常现象是由硅烷流量计或者氨气流量计异常导致的。

在现有的管式镀膜装置发生膜色异常时一般采用如下步骤进行甄别：

1.异常炉管暂停生产，使用备用流量计分别针对性逐一更换硅烷流量计(标记为M)和氨气流量计(标记为H)，其中M和H优先级相同；

2.采用更换M流量计后开机，如果膜色回复正常说明M流量计异常，如果膜色仍然异常，则更换H流量计后膜色恢复正常，则说明H流量计异常或者H 流量计与M流量计同时异常，如果需要确认M是否异常需要将二次关机，且M 再次装回，再次开机才能够判定。

在整个判断过程中需要停机拆卸流量计，且当两个流量计同时异常时需要重复安装和拆卸流量计才能够确认，操作非常复杂，费时费力。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，该管式镀膜装置能够快速的锁定异常流量计，并且在检测的过程中无需反复装拆流量计。

为实现上述技术效果，本实用新型实施例的能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置的技术方案如下：

一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，包括：反应容器，所述反应容器具有至少两个气体进口；测量组件，所述测量组件为至少两个，每个所述测量组件的两端分别连接在外部气源与所述气体进口之间；每个所述测量组件均包括：第一流量计，所述第一流量计的一端与所述气体进口相连，另一端与所述外部气源相连，第一控制阀，所述第一控制阀为两个，其中一个所述第一控制阀设在所述第一流量计与所述气体进口之间，另一个所述第一控制阀设在所述第一流量计与所述外部气源之间；第二流量计，所述第二流量计与所述第一流量计并联设置；第二控制阀，所述第二控制阀为两个，两个所述第二控制阀分别设在所述第二流量计的两端，所述第二流量计可拆卸的连接在两个所述第二控制阀之间。

在一些实施例中，所述气体进口包括氨气进口和硅烷进口，所述第一流量计包括第一氨气流量计及第一硅烷流量计，所述第一控制阀包括第一氨气控制阀及第一硅烷控制阀；所述第二流量计包括第二氨气流量计及第二硅烷流量计，所述第二控制阀包括第二氨气控制阀及第二硅烷控制阀。

在一些具体的实施例中，所述第一氨气流量计与所述氨气进口之间设有氨气调整控制阀，所述第一硅烷流量计与所述硅烷进口之间设有第一硅烷调整控制阀。

在一些可选的实施例中，所述能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置还包括：吹扫管道，所述吹扫管道与所述第一硅烷流量计并联，所述吹扫管道上设有吹扫控制阀，所述吹扫管道被配置为运输吹扫气体；连接管道，所述连接管道的一端与所述硅烷进口相连，所述连接管道的另一端与所述吹扫管道及所述第一硅烷流量计相连，所述第一硅烷调整控制阀位于所述连接管道的远离所述硅烷进口的一端与所述第一控制阀之间。