[实用新型]一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置

权利要求书

1.一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其特征在于，包括：

反应容器(1)，所述反应容器(1)具有至少两个气体进口(11)；

测量组件，所述测量组件为至少两个，每个所述测量组件的两端分别连接在外部气源与所述气体进口(11)之间；

每个所述测量组件均包括：

第一流量计，所述第一流量计的一端与所述气体进口(11)相连，另一端与所述外部气源相连，

第一控制阀，所述第一控制阀为两个，其中一个所述第一控制阀设在所述第一流量计与所述气体进口(11)之间，另一个所述第一控制阀设在所述第一流量计与所述外部气源之间；

第二流量计，所述第二流量计与所述第一流量计并联设置；

第二控制阀，所述第二控制阀为两个，两个所述第二控制阀分别设在所述第二流量计的两端，所述第二流量计可拆卸的连接在两个所述第二控制阀之间。

2.根据权利要求1所述的能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其特征在于，所述气体进口(11)包括氨气进口(111)和硅烷进口(112)，所述第一流量计包括第一氨气流量计(21)及第一硅烷流量计(31)，所述第一控制阀包括第一氨气控制阀(22)及第一硅烷控制阀(32)；所述第二流量计包括第二氨气流量计(23)及第二硅烷流量计(33)，所述第二控制阀包括第二氨气控制阀(24)及第二硅烷控制阀(34)。

3.根据权利要求2所述的能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其特征在于，所述第一氨气流量计(21)与所述氨气进口(111)之间设有氨气调整控制阀(25)，所述第一硅烷流量计(31)与所述硅烷进口(112)之间设有第一硅烷调整控制阀(35)。

4.根据权利要求3所述的能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其特征在于，所述能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置还包括：

吹扫管道(6)，所述吹扫管道(6)与所述第一硅烷流量计(31)并联，所述吹扫管道(6)上设有吹扫控制阀(61)，所述吹扫管道(6)被配置为运输吹扫气体；

连接管道(7)，所述连接管道(7)的一端与所述硅烷进口(112)相连，所述连接管道(7)的另一端与所述吹扫管道(6)及所述第一硅烷流量计(31)相连，所述第一硅烷调整控制阀(35)位于所述连接管道(7)的远离所述硅烷进口(112)的一端与所述第一硅烷控制阀(32)之间。

5.根据权利要求4所述的能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其特征在于，所述能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置还包括：

分接管道(8)，所述分接管道(8)的一端与所述连接管道(7)相连，所述分接管道(8)分别与所述第一硅烷流量计(31)及所述第二硅烷流量计(33)相连，所述第一硅烷调整控制阀(35)设在所述分接管道(8)上；

溢流管道(9)，所述溢流管道(9)的一端与外部收集装置相连，另一端与所述分接管道(8)相连，所述溢流管道(9)上设有沿气体流动方向排布的第二硅烷调整控制阀(36)和溢流控制阀(91)，其中，所述分接管道(8)与所述第一硅烷流量计(31)及所述第二硅烷流量计(33)相连的连接处位于所述第二硅烷调整控制阀(36)和所述第一硅烷调整控制阀(35)之间。

6.根据权利要求2所述的能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其特征在于，所述第一硅烷流量计(31)与外部硅烷源之间设有第一硅烷输送控制阀(37)，所述第二硅烷流量计(33)与所述外部硅烷源之间设有第二硅烷输送控制阀(38)。

7.根据权利要求2所述的能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其特征在于，所述第一流量计还包括第一氮气流量计(42)，所述第一控制阀还包括第一氮气控制阀(41)，所述第二流量计还包括第二氮气流量计(43)，所述第二控制阀还包括第二氮气控制阀(44)，所述第一氮气流量计(42)及所述第二氮气流量计(43)的一端与外部氮气源相连，所述第一氮气流量计(42)及所述第二氮气流量计(43)的另一端与所述氨气进口(111)相连。