[实用新型]一种指向性MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201921844376.5 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN210670558U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 唐晓琦;金文盛;刘伟;张彦秀 | 申请（专利权）人： | 北京燕东微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种指向性MEMS麦克风，包括第一基板、第二基板、第三基板、壳体以及芯片组件，其中：第一基板与壳体密封连接，形成用于容纳第二基板、第三基板以及芯片组件的腔体；第一基板上设有第一声孔；第二基板贴合设置在第一基板与第三基板之间，第二基板与第一声孔对应的位置上设有多个第二声孔，多个第二声孔排布形成网状结构；第三基板上设有与第一声孔同轴的第三声孔，第三基板远离第二基板的表面上固定有芯片组件。本实用新型提供的指向性MEMS麦克风，结构非常简单且制造成本较低。此外，由于第二声孔还能够对外界异物及水进行有效阻挡，从而对腔体内的电子元器件形成有效保护，提高指向性MEMS麦克风的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 指向 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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