[实用新型]一种指向性MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201921844376.5 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN210670558U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 唐晓琦;金文盛;刘伟;张彦秀 | 申请（专利权）人： | 北京燕东微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 指向 mems 麦克风 | ||
1.一种指向性MEMS麦克风，其特征在于，包括第一基板、第二基板、第三基板、壳体以及芯片组件，其中：
所述第一基板与壳体密封连接，形成用于容纳第二基板、第三基板以及芯片组件的腔体；所述第一基板上设有第一声孔；
所述第二基板贴合设置在第一基板与第三基板之间，所述第二基板与所述第一声孔对应的位置上设有多个第二声孔，所述多个第二声孔排布形成网状结构；
所述第三基板上设有与所述第一声孔同轴的第三声孔，所述第三基板远离第二基板的表面上固定有所述芯片组件。
2.根据权利要求1所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述网状结构在所述第一基板上的正投影完全覆盖所述第一声孔。
3.根据权利要求1或2所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述第二声孔的径向尺寸范围是2～20μm。
4.根据权利要求3所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述第二声孔的径向截面形状为正圆形、椭圆形或多边形。
5.根据权利要求3所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述第二声孔的轴向长度范围是100～150μm。
6.根据权利要求1或2所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述第一声孔为圆孔，所述第三声孔为圆孔，且所述第一声孔的孔径大于第三声孔的孔径。
7.根据权利要求1或2所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述第二基板上设有用于电连接所述第一基板与第三基板的过孔。
8.根据权利要求1所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述芯片组件包括电连接的MEMS声音传感器和ASIC芯片，且所述MEMS声音传感器与所述第三声孔对应设置。
9.根据权利要求1或8所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述第三基板远离第二基板的表面上设有降噪电容。
10.根据权利要求9所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述降噪电容的容量范围是0.01～0.1μF。
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