[实用新型]一种化学气相沉积用导气料柱及化学气相沉积炉

摘要

本实用新型实施例提供了一种化学气相沉积用导气料柱及化学气相沉积炉，所述导气料柱包括同轴设置的多个分体单元和至少一个连接单元，两个相邻的所述分体单元之间通过一个所述连接单元连接，其中，所述分体单元呈筒状；所述分体单元包括多个条状连接块，所述条状连接块沿所述分体单元的周缘方向依次拼接；相邻的所述条状连接块之间设置有填隙物。本实用新型实施例的化学气相沉积用导气料柱可以在保证导气料柱机械强度的同时降低导气料柱的成本。