[实用新型]电极保护装置有效
| 申请号： | 201921576498.0 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN210296287U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 张军;沈吉 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/02;H01J37/30 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种电极保护装置，用于保护一等离子刻蚀设备的上电极，包括：绝缘环，套设在所述上电极的外侧；遮蔽环，位于所述上电极的上方且在所述绝缘环的内环面内，所述遮蔽环的环面至少遮盖所述上电极的顶部。利用遮蔽环实现对上电极边缘的保护，避免了上电极边缘因受到电磁波和电场的影响而被刻蚀。整个装置结构简单，易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 保护装置 | ||
【主权项】：
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