[实用新型]一种炉体温度可调的冷壁单晶炉有效
| 申请号： | 201921569220.0 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN210620996U | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 柴晓磊;高佑君;樊海强 | 申请（专利权）人： | 山西中科晶电信息材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C30B11/00 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 043604 山西省运城*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体材料制备技术领域，更具体而言，涉及一种炉体温度可调的冷壁单晶炉，该装置包括晶体生长装置与恒温冷壁炉，所述晶体生长装置设置在恒温冷壁炉内；通过对恒温冷壁炉温度与炉内压力的控制实现晶体生长特定温度场；采用恒温冷壁炉避免环境对晶体生长温场的影响后晶体单晶率获得提升，由60%提升到75%；采用恒温冷壁炉通过对炉内压力的控制避免了石英管的胀管与缩管等现象，实际砷压与设定砷压一直，晶体纵向均匀行得到提升；通过对降温程序的调控，退火周期由原来的140h缩短到116h。缩短了晶体生长周期，提高了经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 体温 可调 冷壁单晶炉 | ||
【主权项】：
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