[实用新型]一种炉体温度可调的冷壁单晶炉

权利要求书

1.一种炉体温度可调的冷壁单晶炉，其特征在于：包括晶体生长装置与恒温冷壁炉，所述晶体生长装置设置在恒温冷壁炉内；所述晶体生长装置包括PBN坩埚（1）、石英管（2）、加热器（3），所述PBN坩埚（1）固定在石英管（2）内，所述石英管（2）内设置有石英帽（4），石英管（2）放置在炉芯（5）上，炉芯内设置有玻璃棒（6）；所述晶体生长装置外设置有保温装置（7），所述保温装置（7）为下部开口的中空筒状结构，所述保温装置（7）内壁镶嵌有加热器（3）；所述恒温冷壁炉包括顶壁（8）、侧壁（9）与底壁（10），所述顶壁（8）、侧壁（9）与底壁（10）在关闭时通过橡胶条密闭；所述顶壁（8）、侧壁（9）与底壁（10）为中空结构，内部分别设置有冷却介质，所述冷却介质温度、流量可通过外界控制。

2.根据权利要求1所述的一种炉体温度可调的冷壁单晶炉，其特征在于：所述加热器（3）设置为六组。

3.根据权利要求1或2所述的一种炉体温度可调的冷壁单晶炉，其特征在于：所述加热器（3）温度分别独立运作。

4.根据权利要求1所述的一种炉体温度可调的冷壁单晶炉，其特征在于：所述恒温冷壁炉还设置有气压控制系统，所述气压控制系统包括进气阀（11）、出气阀（12）和气压控制装置。

5.根据权利要求1所述的一种炉体温度可调的冷壁单晶炉，其特征在于：所述顶壁（8）、侧壁（9）与底壁（10）中冷却介质温度、流量分别独立控制。

6.根据权利要求1所述的一种炉体温度可调的冷壁单晶炉，其特征在于：所述侧壁（9）设置为1-3组，多组侧壁（9）上下叠加，相邻侧壁（9）固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种炉体温度可调的冷壁单晶炉，其特征在于：所述侧壁（9）中冷却介质温度、流量分别独立控制。