[实用新型]一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机有效
申请号: | 201921501316.3 | 申请日: | 2019-09-10 |
公开(公告)号: | CN210458353U | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 林壁鹏 | 申请(专利权)人: | 深圳市西陆光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 任娜娜 |
地址: | 518116 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机,包括桌体和拉板,所述桌体的上端开设有凹槽,所述拉板置于凹槽内,所述拉板的上端固定安装有镀镆机,所述凹槽的内腔底端左右两侧均开设有滑槽,所述拉板的下端左右两侧均固定安装有滑轮,两个所述滑轮分别置于两个滑槽内。本实用新型通过将固定杆置于套筒内,然后通过滑轮置于滑槽内向凹槽内推动拉板,从而通过弹簧将固定杆弹入通孔内,从而通过固定杆将拉板固定在凹槽内,从而将镀镆机进行固定,当需要对镀镆机进行拆卸维修时,通过相向推动推杆从而推板推动固定杆将固定杆置于套筒内,然后向外拉动拉板,从而方便快捷的将镀镆机完成拆卸,进一步的增加了镀镆机拆卸和安装的灵活性。 | ||
搜索关键词: | 一种 组合 灵活 小型 磁控溅射 镀镆机 | ||
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