[实用新型]一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机有效

专利信息
申请号: 201921501316.3 申请日: 2019-09-10
公开(公告)号: CN210458353U 公开(公告)日: 2020-05-05
发明(设计)人: 林壁鹏 申请(专利权)人: 深圳市西陆光电技术有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 任娜娜
地址: 518116 广东省深圳市龙岗区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机,包括桌体和拉板,所述桌体的上端开设有凹槽,所述拉板置于凹槽内,所述拉板的上端固定安装有镀镆机,所述凹槽的内腔底端左右两侧均开设有滑槽,所述拉板的下端左右两侧均固定安装有滑轮,两个所述滑轮分别置于两个滑槽内。本实用新型通过将固定杆置于套筒内,然后通过滑轮置于滑槽内向凹槽内推动拉板,从而通过弹簧将固定杆弹入通孔内,从而通过固定杆将拉板固定在凹槽内,从而将镀镆机进行固定,当需要对镀镆机进行拆卸维修时,通过相向推动推杆从而推板推动固定杆将固定杆置于套筒内,然后向外拉动拉板,从而方便快捷的将镀镆机完成拆卸,进一步的增加了镀镆机拆卸和安装的灵活性。
搜索关键词: 一种 组合 灵活 小型 磁控溅射 镀镆机
【主权项】:
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