[实用新型]一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机有效

专利信息
申请号: 201921501316.3 申请日: 2019-09-10
公开(公告)号: CN210458353U 公开(公告)日: 2020-05-05
发明(设计)人: 林壁鹏 申请(专利权)人: 深圳市西陆光电技术有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 任娜娜
地址: 518116 广东省深圳市龙岗区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 组合 灵活 小型 磁控溅射 镀镆机
【说明书】:

实用新型公开了一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机,包括桌体和拉板,所述桌体的上端开设有凹槽,所述拉板置于凹槽内,所述拉板的上端固定安装有镀镆机,所述凹槽的内腔底端左右两侧均开设有滑槽,所述拉板的下端左右两侧均固定安装有滑轮,两个所述滑轮分别置于两个滑槽内。本实用新型通过将固定杆置于套筒内,然后通过滑轮置于滑槽内向凹槽内推动拉板,从而通过弹簧将固定杆弹入通孔内,从而通过固定杆将拉板固定在凹槽内,从而将镀镆机进行固定,当需要对镀镆机进行拆卸维修时,通过相向推动推杆从而推板推动固定杆将固定杆置于套筒内,然后向外拉动拉板,从而方便快捷的将镀镆机完成拆卸,进一步的增加了镀镆机拆卸和安装的灵活性。

技术领域

本实用新型涉及一种镀镆机,具体为一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机。

背景技术

目前,现有的还存在着一些不足的地方,例如;利用磁控溅射技术可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等,现有的磁控溅射镀镆机通常牢固的固定在桌面上或者其他平面上,如果磁控溅射镀镆机损坏要对其进行维修,从而造成维修比较麻烦,费时费力,成本增加,因此,我们提出一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机,解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机,包括桌体和拉板;

所述桌体的上端开设有凹槽,所述拉板置于凹槽内,所述拉板的上端固定安装有镀镆机,所述凹槽的内腔底端左右两侧均开设有滑槽,所述拉板的下端左右两侧均固定安装有滑轮,两个所述滑轮分别置于两个滑槽内,所述凹槽的内腔左右两端均开设有通孔;

所述桌体的左右两端均贯穿有推杆,两个所述推杆的内侧均固定安装有推板,两个所述推板分别置于两个通孔内,所述拉板的左右两端的内部均固定安装有套筒,两个所述套筒内均固定安装有弹簧,两个所述弹簧的另一端均固定安装有固定杆,两个所述固定杆的半径均小于两个通孔的半径,两个所述推杆的外侧均套设有复位弹簧。

作为本实用新型的一种优选实施方式,两个所述套筒的内腔上下两端均开设有滑道,两个所述滑道内均活动连接有滑块,两个所述滑块分别与固定杆的上下两端固定连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式,两个所述通孔的内腔四周均固定安装有橡胶垫。

作为本实用新型的一种优选实施方式,两个所述复位弹簧的外侧均套设有橡胶软管。

作为本实用新型的一种优选实施方式,所述桌体与拉板的缝隙处固定安装有密封垫。

作为本实用新型的一种优选实施方式,所述拉板的前端固定安装有把手。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

1.本实用新型一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机,通过将固定杆置于套筒内,然后通过滑轮置于滑槽内向凹槽内推动拉板,从而通过弹簧将固定杆弹入通孔内,从而通过固定杆将拉板固定在凹槽内,从而将镀镆机进行固定,当需要对镀镆机进行拆卸维修时,通过相向推动推杆从而推板推动固定杆将固定杆置于套筒内,然后向外拉动拉板,从而方便快捷的将镀镆机完成拆卸,进一步的增加了镀镆机拆卸和安装的灵活性。

2.本实用新型一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机,通过滑块在滑道内滑动从而能够有效的增加固定杆移动的稳定性,从而方便准确的将拉板固定在凹槽内。

3.本实用新型一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机,通过橡胶垫能够有效的减小固定杆与通孔之间的间隙,进一步的增加拉板在凹槽内的稳定性。

附图说明

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