[实用新型]一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机有效
申请号: | 201921501316.3 | 申请日: | 2019-09-10 |
公开(公告)号: | CN210458353U | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 林壁鹏 | 申请(专利权)人: | 深圳市西陆光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 任娜娜 |
地址: | 518116 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 组合 灵活 小型 磁控溅射 镀镆机 | ||
本实用新型公开了一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机,包括桌体和拉板,所述桌体的上端开设有凹槽,所述拉板置于凹槽内,所述拉板的上端固定安装有镀镆机,所述凹槽的内腔底端左右两侧均开设有滑槽,所述拉板的下端左右两侧均固定安装有滑轮,两个所述滑轮分别置于两个滑槽内。本实用新型通过将固定杆置于套筒内,然后通过滑轮置于滑槽内向凹槽内推动拉板,从而通过弹簧将固定杆弹入通孔内,从而通过固定杆将拉板固定在凹槽内,从而将镀镆机进行固定,当需要对镀镆机进行拆卸维修时,通过相向推动推杆从而推板推动固定杆将固定杆置于套筒内,然后向外拉动拉板,从而方便快捷的将镀镆机完成拆卸,进一步的增加了镀镆机拆卸和安装的灵活性。
技术领域
本实用新型涉及一种镀镆机,具体为一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机。
背景技术
目前,现有的还存在着一些不足的地方,例如;利用磁控溅射技术可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等,现有的磁控溅射镀镆机通常牢固的固定在桌面上或者其他平面上,如果磁控溅射镀镆机损坏要对其进行维修,从而造成维修比较麻烦,费时费力,成本增加,因此,我们提出一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机,解决了背景技术中所提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机,包括桌体和拉板;
所述桌体的上端开设有凹槽,所述拉板置于凹槽内,所述拉板的上端固定安装有镀镆机,所述凹槽的内腔底端左右两侧均开设有滑槽,所述拉板的下端左右两侧均固定安装有滑轮,两个所述滑轮分别置于两个滑槽内,所述凹槽的内腔左右两端均开设有通孔;
所述桌体的左右两端均贯穿有推杆,两个所述推杆的内侧均固定安装有推板,两个所述推板分别置于两个通孔内,所述拉板的左右两端的内部均固定安装有套筒,两个所述套筒内均固定安装有弹簧,两个所述弹簧的另一端均固定安装有固定杆,两个所述固定杆的半径均小于两个通孔的半径,两个所述推杆的外侧均套设有复位弹簧。
作为本实用新型的一种优选实施方式,两个所述套筒的内腔上下两端均开设有滑道,两个所述滑道内均活动连接有滑块,两个所述滑块分别与固定杆的上下两端固定连接。
作为本实用新型的一种优选实施方式,两个所述通孔的内腔四周均固定安装有橡胶垫。
作为本实用新型的一种优选实施方式,两个所述复位弹簧的外侧均套设有橡胶软管。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述桌体与拉板的缝隙处固定安装有密封垫。
作为本实用新型的一种优选实施方式,所述拉板的前端固定安装有把手。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
1.本实用新型一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机,通过将固定杆置于套筒内,然后通过滑轮置于滑槽内向凹槽内推动拉板,从而通过弹簧将固定杆弹入通孔内,从而通过固定杆将拉板固定在凹槽内,从而将镀镆机进行固定,当需要对镀镆机进行拆卸维修时,通过相向推动推杆从而推板推动固定杆将固定杆置于套筒内,然后向外拉动拉板,从而方便快捷的将镀镆机完成拆卸,进一步的增加了镀镆机拆卸和安装的灵活性。
2.本实用新型一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机,通过滑块在滑道内滑动从而能够有效的增加固定杆移动的稳定性,从而方便准确的将拉板固定在凹槽内。
3.本实用新型一种组合灵活的小型磁控溅射镀镆机,通过橡胶垫能够有效的减小固定杆与通孔之间的间隙,进一步的增加拉板在凹槽内的稳定性。
附图说明
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