[实用新型]一种芯片制造用晶圆划片机有效
| 申请号： | 201921368958.0 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN211762655U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 刘庆珠 | 申请（专利权）人： | 山东亲橙里教学用品有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人： | 姬春红 |
| 地址： | 277100 山东省枣庄*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种芯片制造用晶圆划片机，包括机座、X轴传动座和Y轴传动座，所述机座上设置有伸缩平台、凹槽与第一电机，所述伸缩平台通过螺栓安装固定于机座前端，伸缩平台顶部通过螺栓安装固定有晶圆放置台，所述凹槽开设于机座顶部后端，凹槽内通过轴承过盈连接有下螺杆，所述第一电机通过螺栓安装固定于机座右侧后端，且第一电机与下螺杆销轴连接，所述X轴传动座放置于凹槽顶部，所述Y轴传动座放置于X轴传动座顶部。本实用新型可轻松对晶圆进行等距切割。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 制造 用晶圆 划片 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东亲橙里教学用品有限公司，未经山东亲橙里教学用品有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921368958.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电锌阴极板的防腐层结构
- 下一篇：一种智能亮度调节玻璃门遮阳帘
