[实用新型]一种钟罩式气相化学沉积炉

摘要

本实用新型公开了一种钟罩式气相化学沉积炉，包括基座、钟罩沉积炉本体、水平螺纹柱和插销，所述基座上设置有钟罩沉积炉本体，所述水平螺纹柱贯穿调节窗，且水平螺纹柱上安装有紧固螺母，并且水平螺纹柱固定在操作板上，同时操作板与齿轮筒相互连接，所述齿轮筒上固定有连接杆，且连接杆与限位板相互连接，并且限位板上开设有通孔，所述插销贯穿通孔，且插销的底端固定有定位板，并且定位板的底端与底槽相互连接，且底槽开设在基座上端面。该钟罩式气相化学沉积炉，采用新型的结构设计，使得本装置可以对钟罩沉积炉本体进行限位固定，令钟罩沉积炉本体不会轻易晃动移位，且能与基座紧密贴合接触，避免由于接触不紧密造成的气密性不足。