[实用新型]一种支撑组件及碳化硅炉有效
申请号: | 201921193512.9 | 申请日: | 2019-07-26 |
公开(公告)号: | CN210765581U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 吴天舒;夏树胜 | 申请(专利权)人: | 北京京运通科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/36 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 李迪 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种支撑组件及碳化硅炉,其中,支撑组件应用于碳化硅炉中,碳化硅炉包括石英管、以及盖合在石英管上方的盖板。该支撑组件包括用于支撑盖板的至少两个支架,且至少两个支架环绕石英管分布以形成用于容纳石英管的空间。在上述的方案中,通过设置用于支撑盖板的至少两个支架,将盖板对石英管的压力部分或全部传递到至少两个支架上,以减轻盖板对石英管的压力,从而减轻石英管的承重,防止石英管因承受的压力过重而损坏。 | ||
搜索关键词: | 一种 支撑 组件 碳化硅 | ||
【主权项】:
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