[实用新型]一种支撑组件及碳化硅炉

说明书

本实用新型提供了一种支撑组件及碳化硅炉，其中，支撑组件应用于碳化硅炉中，碳化硅炉包括石英管、以及盖合在石英管上方的盖板。该支撑组件包括用于支撑盖板的至少两个支架，且至少两个支架环绕石英管分布以形成用于容纳石英管的空间。在上述的方案中，通过设置用于支撑盖板的至少两个支架，将盖板对石英管的压力部分或全部传递到至少两个支架上，以减轻盖板对石英管的压力，从而减轻石英管的承重，防止石英管因承受的压力过重而损坏。

技术领域

本实用新型涉及晶体生长技术领域，尤其涉及一种支撑组件及碳化硅炉。

背景技术

碳化硅炉是一种用于碳化硅单晶生长的设备，设备采用物理气相传输法(PVT法)，并采用感应线圈加热的方式将生长腔体内部加热至2600℃，石墨坩埚中的碳化硅粉末在该温度下升华，然后在碳化硅籽晶上凝结成体单晶。由于采用感应线圈加热的方式，要避免感应圈周围零件产生感应加热，故碳化硅主体采用内外双层石英管，上下加盖结构，盖板采用不锈钢材质。原结构将上部分零件直接支撑在石英管上，增加石英管受力，提高石英管破损的可能性。

实用新型内容

本实用新型提供一种支撑组件及碳化硅炉，用以支撑盖合在石英管上方的盖板，减轻石英管的承重。

第一方面，本实用新型提供了一种支撑组件，应用于碳化硅炉中，碳化硅炉包括石英管、以及盖合在石英管上方的盖板。该支撑组件包括用于支撑盖板的至少两个支架，且至少两个支架环绕石英管分布以形成用于容纳石英管的空间。在上述的方案中，通过设置用于支撑盖板的至少两个支架，将盖板对石英管的压力部分或全部传递到至少两个支架上，以减轻盖板对石英管的压力，从而减轻石英管的承重，防止石英管因承受的压力过重而损坏。

在一个具体的实施方式中，支撑组件还包括与所述至少两个支架一一对应且用于与盖板连接的连接板，且每个连接板与对应的支架固定连接，以便于装配。

在一个具体的实施方式中，支撑组件还包括用于固定盖板且与至少两个连接板连接的法兰盘，以便于对盖板及石英管的固定。

在一个具体的实施方式中，每个支架为T型结构、L型结构或I型结构，以简化结构。具体设置时，在支架为T型结构时，T型结构的竖直部分为支柱，T型结构的水平部分为横梁，以提高支架的稳定性。在支架为L型结构时，L型结构的竖直部分为支柱，L型结构的水平部分为横梁，以简化结构。在支架为I型结构时，I型结构只有竖直部分，竖直部分为支柱，以简化结构。

在一个具体的实施方式中，支柱及横梁为一体结构，以便于设置。

在一个具体的实施方式中，支架还包括连接支柱与横梁的加强肋，以加固支柱及横梁，提高支架的稳定性。

在一个具体的实施方式中，每个连接板通过至少一个螺钉与对应的支架中的横梁固定连接，以便于连接板的安装与拆卸。

在一个具体的实施方式中，支架的个数为3个，且3个支架呈环形排布，以提高支撑组件的稳定性。

在一个具体的实施方式中，3个支架沿石英管的周向均匀排布，以改善每个支架的受力状况。

第二方面，本实用新型还提供了一种碳化硅炉，该碳化硅炉包括石英管、盖合在石英管上方的盖板、以及支撑盖板的上述任意一种支撑组件。通过采用支撑组件支撑石英管的盖板，将盖板对石英管的压力部分或全部传递到至少两个支架上，以减轻盖板对石英管的压力，从而减轻石英管的承重，防止石英管因承受的压力过重而损坏。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种支撑组件的剖视图。

附图标记：

10-支架 11-支柱 12-横梁

13-加强肋 20-连接板 30-法兰盘