[实用新型]一种低应力MEMS惯性传感器测试夹具有效
| 申请号： | 201920995788.2 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210036751U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 陈首任;王雪峰;刘杨;付朝辉;喻伟;张广平 | 申请（专利权）人： | 成都华托微纳智能传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00;G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 11640 北京中索知识产权代理有限公司 | 代理人： | 唐亭 |
| 地址： | 610000 四川省成都市双流区*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种低应力MEMS惯性传感器测试夹具，包括固定板和测试底板；固定板中部设有用于放置并限位固定待测MEMS惯性传感器的贯穿固定板厚度方向的容纳腔；测试底板设有安装通孔，安装通孔内设有双头弹簧测试探针针头，探针一头凸出于测试底板上表面，另一头凸出于测试底板下表面，测试底板下表面的探针针头用于与测试电路板连接，所有测试底板上表面的针头位于容纳腔范围内；固定板和测试底板叠合并通过异方性导电胶膜粘合连接，异方性导电胶膜覆盖所有凸出于测试底板上表面的针头。通过本实用新型，既能保证MEMS惯性传感器与测试电路板之间稳定的电连接，又能通过异方性导电胶膜的粘性固定MEMS惯性传感器而不对其施加压力，使测试结果更真实。 | ||
| 搜索关键词： | 测试底板 异方性导电胶膜 固定板 上表面 针头 本实用新型 测试电路板 安装通孔 容纳腔 下表面 固定板中部 测试夹具 测试探针 施加压力 双头弹簧 探针针头 限位固定 低应力 电连接 粘合 探针 合并 贯穿 覆盖 保证 | ||
【主权项】：
1.一种低应力MEMS惯性传感器测试夹具，其特征在于，包括固定板和测试底板；所述固定板中部设有用于放置并限位固定待测MEMS惯性传感器的贯穿固定板厚度方向的容纳腔；所述测试底板开设有数个均匀分布的安装通孔，安装通孔内设有测试探针针头，所述测试探针为双头弹簧测试探针，探针一头凸出于测试底板上表面，探针另一头凸出于测试底板下表面，凸出于测试底板下表面的探针针头用于与测试电路板连接，所有测试底板上表面的测试探针针头位于容纳腔范围内；所述固定板的下表面和测试底板的上表面重合并通过异方性导电胶膜粘合连接，所述异方性导电胶膜完全覆盖所有测试底板上表面的探针针头。/n
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