[实用新型]一种可控压力的MEMS惯性传感器测试夹具有效
| 申请号： | 201920995739.9 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210036750U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 陈首任;王雪峰;刘杨;付朝辉;喻伟;张广平 | 申请（专利权）人： | 成都华托微纳智能传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00;G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 11640 北京中索知识产权代理有限公司 | 代理人： | 唐亭 |
| 地址： | 610000 四川省成都市双流区*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可控压力的MEMS惯性传感器测试夹具，包括测试底板、中间板和上层盖板；所述测试底板设有安装通孔，安装通孔内设有双头弹簧测试探针针头，探针一头凸出于测试底板上表面，探针另一头凸出于测试底板下表面；所述中间板设有用于放置并限位固定待测MEMS惯性传感器的贯穿中间板厚度方向的容纳腔，所有测试底板上表面的测试探针针头位于容纳腔范围内，中间板的厚度小于待测MEMS惯性传感器的厚度；测试底板、中间板和上层盖板三者叠合放置并采用至少两个螺钉连接。本实用新型结构简单，安装方便，能够调控对MEMS惯性传感器的压力，针对不同MEMS惯性传感器采用不同的测试压力，以达到MEMS惯性传感器的最优性能，使得测试结果更准确。 | ||
| 搜索关键词： | 测试底板 中间板 本实用新型 安装通孔 测试探针 容纳腔 上表面 盖板 探针 针头 上层 安装方便 测试夹具 测试压力 叠合放置 可控压力 螺钉连接 双头弹簧 限位固定 最优性能 下表面 调控 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种可控压力的MEMS惯性传感器测试夹具，其特征在于，包括测试底板、中间板和上层盖板；所述测试底板开设有数个均匀分布的安装通孔，安装通孔内设有测试探针针头，所述测试探针为双头弹簧测试探针，探针一头凸出于测试底板上表面，探针另一头凸出于测试底板下表面，凸出于测试底板下表面的探针针头用于与测试电路板连接；所述中间板设有用于放置并限位固定待测MEMS惯性传感器的贯穿中间板厚度方向的容纳腔，所有测试底板上表面的测试探针针头位于容纳腔范围内，所述中间板的厚度小于待测MEMS惯性传感器的厚度；所述测试底板、中间板和上层盖板三者叠合放置并采用至少两个螺钉连接，通过调节螺钉的松紧程度调节上层盖板对待测MEMS惯性传感器施加的压力。/n
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