[实用新型]一种新型扩晶装置

摘要

本实用新型公开了一种新型扩晶装置，包括晶圆台底座、晶片环、轴承、传感器、齿轮一、齿轮二、导套座、导柱、导套、传感器座、扩晶螺杆、感应片、螺柱、上层板、压块、转动环、压环、皮带、压轮轴、扩晶托环、卡环座、转动环座和卡环；本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，本装置采用正面平放装卸设计，不会触碰到晶片环表面也就保证了质量；本实用新型中设置的转动环，能够对晶片环的角度进行旋转调节，也就满足了拾取角度的要求；本实用新型中转动环边缘处中设置有锁紧圆弧长槽，从而保证了调节完成后通过螺钉使转动环牢牢的固定在上层板上，也就提高了调节后使用的效果。

主权项

1.一种新型扩晶装置，其特征在于：包括晶圆台底座(1)、晶片环(3)、轴承(5)、传感器(6)、齿轮一(7)、齿轮二(9)、导套座(11)、导柱(12)、导套(13)、传感器座(14)、扩晶螺杆(16)、感应片(17)、螺柱(18)、上层板(20)、压块(21)、转动环(22)、压环(23)、皮带(24)、压轮轴(25)、扩晶托环(29)、卡环座(31)、转动环座(32)和卡环(33)；/n所述传感器座(14)固定连接在晶圆台底座(1)右侧中央，所述传感器座(14)后侧固定连接有感应片(17)和传感器(6)；/n所述导套座(11)为四个，所述导套座(11)均匀固定连接在晶圆台底座(1)上面，所述导套座(11)中均固定连接有导套(13)，且导套(13)中均竖向活动连接有导柱(12)；/n所述导柱(12)顶部通过螺钉固定连接在上层板(20)底部对应的位置；/n所述扩晶螺杆(16)为四个，所述扩晶螺杆(16)分别位于对应的导套座(11)左侧，所述扩晶螺杆(16)下侧通过压环(23)活动连接在晶圆台底座(1)中，所述扩晶螺杆(16)下侧轴与压环(23)内侧之间均设有轴承(5)，所述扩晶螺杆(16)下侧轴上均固定就有齿轮一(7)，且齿轮一(7)之间通过皮带(24)相连接在一起，所述扩晶螺杆(16)顶部设有螺柱(18)；/n所述齿轮二(9)固定连接在其中一个齿轮一(7)底部；/n所述压块(21)为四个，所述压块(21)内部螺纹孔分别活动连接在对应的螺柱(18)上，所述压块(21)均固定连接在上层板(20)上；/n所述上层板(20)下侧设有数个压轮轴(25)，所述上层板(20)内部固定连接有转动环座(32)；/n所述转动环座(32)内部活动连接有转动环(22)；/n所述转动环(22)内部下侧固定连接有扩晶托环(29)，所述转动环(22)上侧固定连接有卡环座(31)；/n所述卡环(33)与卡环座(31)内侧相连接；/n所述晶片环(3)通过卡环(33)固定连接在扩晶托环(29)上面。/n