[实用新型]一种新型扩晶装置

说明书

本实用新型公开了一种新型扩晶装置，包括晶圆台底座、晶片环、轴承、传感器、齿轮一、齿轮二、导套座、导柱、导套、传感器座、扩晶螺杆、感应片、螺柱、上层板、压块、转动环、压环、皮带、压轮轴、扩晶托环、卡环座、转动环座和卡环；本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，本装置采用正面平放装卸设计，不会触碰到晶片环表面也就保证了质量；本实用新型中设置的转动环，能够对晶片环的角度进行旋转调节，也就满足了拾取角度的要求；本实用新型中转动环边缘处中设置有锁紧圆弧长槽，从而保证了调节完成后通过螺钉使转动环牢牢的固定在上层板上，也就提高了调节后使用的效果。

技术领域

本实用新型涉及一种扩晶装置，特别涉及一种新型扩晶装置。

背景技术

目前的晶圆固定工作台都是采用左侧推入装放，这样推入过程中工件会出现触碰到晶圆片表面，影响晶片的质量，其次装入后晶圆片角度不可调整，要满足需要必须卸载重新贴片再装入，有可能重复多次，严重影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种新型扩晶装置，解决了背景技术中的问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种技术方案：一种新型扩晶装置，其创新点在于：包括晶圆台底座、晶片环、轴承、传感器、齿轮一、齿轮二、导套座、导柱、导套、传感器座、扩晶螺杆、感应片、螺柱、上层板、压块、转动环、压环、皮带、压轮轴、扩晶托环、卡环座、转动环座和卡环；所述传感器座固定连接在晶圆台底座右侧中央，所述传感器座后侧固定连接有感应片和传感器；所述导套座为四个，所述导套座均匀固定连接在晶圆台底座上面，所述导套座中均固定连接有导套，且导套中均竖向活动连接有导柱；所述导柱顶部通过螺钉固定连接在上层板底部对应的位置；所述扩晶螺杆为四个，所述扩晶螺杆分别位于对应的导套座左侧，所述扩晶螺杆下侧通过压环活动连接在晶圆台底座中，所述扩晶螺杆下侧轴与压环内侧之间均设有轴承，所述扩晶螺杆下侧轴上均固定就有齿轮一，且齿轮一之间通过皮带相连接在一起，所述扩晶螺杆顶部设有螺柱；所述齿轮二固定连接在其中一个齿轮一底部；所述压块为四个，所述压块内部螺纹孔分别活动连接在对应的螺柱上，所述压块均固定连接在上层板上；所述上层板下侧设有数个压轮轴，所述上层板内部固定连接有转动环座；所述转动环座内部活动连接有转动环；所述转动环内部下侧固定连接有扩晶托环，所述转动环上侧固定连接有卡环座；所述卡环与卡环座内侧相连接；所述晶片环通过卡环固定连接在扩晶托环上面。

作为优选，所述导柱之间相互平行。

作为优选，所述扩晶螺杆的中心线与导柱的中心线之间相互平行。

作为优选，所述皮带为同步带。

作为优选，所述转动环边缘处中设有锁紧圆弧长槽。

作为优选，所述卡环顶面设有旋转卡紧箭头。

本实用新型的有益效果：

(1)本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，本装置采用正面平放装卸设计，不会触碰到晶片环表面也就保证了质量。

(2)本实用新型中设置的转动环，能够对晶片环的角度进行旋转调节，也就满足了拾取角度的要求，提高生产效率。

(3)本实用新型中转动环边缘处中设置有锁紧圆弧长槽，从而保证了调节完成后通过螺钉使转动环牢牢的固定在上层板上，也就提高了调节后使用的效果。

(4)本实用新型中皮带为同步带，能够驱使所有的齿轮一、扩晶螺杆和螺柱一起同步旋转，从而能够对上层板及其内部晶片环的高度进行调节，也就进一步提高使用的效果。

(5)本实用新型中设置的导柱和导套，能够确保上层板升降移动时候的水平度，也就进一步提高了调节后产生的精度。

附图说明