[实用新型]一种半导体研磨设备及研磨头夹具

摘要

本实用新型提供一种半导体研磨设备及研磨头夹具，研磨头夹具包括夹持部件和固定组件，夹持部件包括在连接端互相连接的可开合的第一部分和第二部分；固定组件设置在夹持部件的开合端，锁紧并固定夹持部件；固定组件包括连接杆以及连接至连接杆的锁紧部，相对于连接杆可调节以锁紧或松开夹持部件，锁紧部包括对齐部件，对齐部件包括锥形结构，夹持部的第二部分包括与对齐部件互补的对齐结构。通过该对齐结构无需特别的对准操作，便可实现固定组件与夹持部件的对齐，可以有效避免因二者未准确对齐造成的研磨头脱落等意外。具有上述研磨头夹具的研磨机台，由于不会出现研磨头脱落等意外，因此提高了研磨机台的工作效率及半导体器件的产品良率。