[实用新型]热处理装置

摘要

本实用新型涉及热处理装置。提供能将基板保持件稳定地保持在保温台且能抑制热量从保温台的上方向保温台的下方散失的技术。热处理装置具备处理容器，其包括沿铅垂方向延伸的圆筒状的反应管；基板保持件，其在反应管的内部沿铅垂方向隔开间隔地保持多个基板；加热器，其从反应管的径向外侧对反应管的内部加热；盖体，其对处理容器的下端部的开口部进行开闭；及保温台，其配置在基板保持件与盖体之间，保温台具有沿铅垂方向延伸的碳化硅制的圆筒部；配置于圆筒部的径向内侧的第一隔热部；及配置于圆筒部的径向外侧的第二隔热部，第一隔热部包括沿铅垂方向隔开间隔排列的多个圆盘状翅片，第二隔热部包括沿铅垂方向隔开间隔排列的多个环形盘状翅片。