[实用新型]热处理装置

权利要求书

1.一种热处理装置，其中，

具备：

处理容器，其包括沿铅垂方向延伸的圆筒状的反应管；

基板保持件，其在所述反应管的内部，沿铅垂方向隔开间隔地保持多个基板；

加热器，其从所述反应管的径向外侧对所述反应管的内部进行加热；

盖体，其对所述处理容器的下端部的开口部进行开闭；以及

保温台，其配置在所述基板保持件与所述盖体之间，

所述保温台具有：沿铅垂方向延伸的碳化硅制的圆筒部；配置于所述圆筒部的径向内侧的第一隔热部；以及配置于所述圆筒部的径向外侧的第二隔热部，

所述第一隔热部包括沿铅垂方向隔开间隔地排列的多个圆盘状翅片，

所述第二隔热部包括沿铅垂方向隔开间隔地排列的多个环形盘状翅片。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，

所述第一隔热部包括：碳化硅制的圆盘状翅片；和石英制的圆盘状翅片，其配置于所述碳化硅制的圆盘状翅片的下方。

3.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，

所述第二隔热部包括：碳化硅制的环形盘状翅片；和石英制的环形盘状翅片，其配置于所述碳化硅制的环形盘状翅片的下方。

4.根据权利要求2所述的热处理装置，其中，

所述第二隔热部包括：碳化硅制的环形盘状翅片；和石英制的环形盘状翅片，其配置于所述碳化硅制的环形盘状翅片的下方。

5.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，

所述保温台在所述圆筒部与所述盖体之间具有第三隔热部，

所述第三隔热部包括沿铅垂方向隔开间隔地排列的多个石英制的圆盘状翅片。

6.根据权利要求2所述的热处理装置，其中，

所述保温台在所述圆筒部与所述盖体之间具有第三隔热部，

所述第三隔热部包括沿铅垂方向隔开间隔地排列的多个石英制的圆盘状翅片。

7.根据权利要求3所述的热处理装置，其中，

所述保温台在所述圆筒部与所述盖体之间具有第三隔热部，

所述第三隔热部包括沿铅垂方向隔开间隔地排列的多个石英制的圆盘状翅片。

8.根据权利要求4所述的热处理装置，其中，

所述保温台在所述圆筒部与所述盖体之间具有第三隔热部，

所述第三隔热部包括沿铅垂方向隔开间隔地排列的多个石英制的圆盘状翅片。

9.根据权利要求5～8中任一项所述的热处理装置，其中，

所述保温台具有翻倒防止部，该翻倒防止部防止所述圆筒部相对于所述第三隔热部翻倒。

10.根据权利要求5～8中任一项所述的热处理装置，其中，

所述保温台具有旋转防止部，该旋转防止部防止所述圆筒部相对于所述第三隔热部旋转。

11.根据权利要求9所述的热处理装置，其中，

所述保温台具有旋转防止部，该旋转防止部防止所述圆筒部相对于所述第三隔热部旋转。