[实用新型]一种光刻机的极片定位装置有效
| 申请号： | 201920766076.3 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN209674186U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 徐峥 | 申请（专利权）人： | 南阳凯鑫光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 11589 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王志敏<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 473001 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机的极片定位装置，包括支撑板，支撑板的顶端侧壁固定有固定板，固定板上开设有左右贯穿的第一通孔，第一通孔的两侧侧壁滑动连接有对称设置的滑块，滑块之间固定有调节板，调节板的一端延伸至第一通孔外部固定有垂直设置的挡板，固定板的一侧侧壁开设有第二通孔，第二通孔与第一通孔内部连通，第二通孔的内部转动连接有转轴，转轴的一端延伸至第一通孔一侧侧壁转动连接，转轴的另一端延伸至第二通孔外部固定有转板，且转板与转轴之间垂直设置，转轴位于两个调节板之间，调节板靠近转轴的一侧侧壁开设有齿条。本实用新型能够对不同大小的极片进行自动定位，提高了定位精度，而且能够进行快速固定，提高了实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 通孔 转轴 调节板 侧壁 固定板 本实用新型 垂直设置 转动连接 支撑板 滑块 转板 延伸 极片定位装置 挡板 顶端侧壁 对称设置 滑动连接 快速固定 内部连通 自动定位 光刻机 外部 齿条 极片 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机的极片定位装置，包括支撑板，其特征在于，所述支撑板的顶端侧壁固定有固定板，固定板上开设有左右贯穿的第一通孔，第一通孔的两侧侧壁滑动连接有对称设置的滑块，滑块之间固定有调节板，调节板的一端延伸至第一通孔外部固定有垂直设置的挡板，所述固定板的一侧侧壁开设有第二通孔，第二通孔与第一通孔内部连通，所述第二通孔的内部转动连接有转轴，转轴的一端延伸至第一通孔一侧侧壁转动连接，所述转轴的另一端延伸至第二通孔外部固定有转板，且转板与转轴之间垂直设置，所述转轴位于两个所述调节板之间，所述调节板靠近转轴的一侧侧壁开设有齿条。/n
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