[实用新型]一种光刻机的极片定位装置

说明书

本实用新型公开了一种光刻机的极片定位装置，包括支撑板，支撑板的顶端侧壁固定有固定板，固定板上开设有左右贯穿的第一通孔，第一通孔的两侧侧壁滑动连接有对称设置的滑块，滑块之间固定有调节板，调节板的一端延伸至第一通孔外部固定有垂直设置的挡板，固定板的一侧侧壁开设有第二通孔，第二通孔与第一通孔内部连通，第二通孔的内部转动连接有转轴，转轴的一端延伸至第一通孔一侧侧壁转动连接，转轴的另一端延伸至第二通孔外部固定有转板，且转板与转轴之间垂直设置，转轴位于两个调节板之间，调节板靠近转轴的一侧侧壁开设有齿条。本实用新型能够对不同大小的极片进行自动定位，提高了定位精度，而且能够进行快速固定，提高了实用性。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻机的极片定位装置。

背景技术

现有的光刻机的极片进行定位时，往往是人工手动进行放置定位，定位精度低，为此，我们提出了一种光刻机的极片定位装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种光刻机的极片定位装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种光刻机的极片定位装置，包括支撑板，所述支撑板的顶端侧壁固定有固定板，固定板上开设有左右贯穿的第一通孔，第一通孔的两侧侧壁滑动连接有对称设置的滑块，滑块之间固定有调节板，调节板的一端延伸至第一通孔外部固定有垂直设置的挡板，所述固定板的一侧侧壁开设有第二通孔，第二通孔与第一通孔内部连通，所述第二通孔的内部转动连接有转轴，转轴的一端延伸至第一通孔一侧侧壁转动连接，所述转轴的另一端延伸至第二通孔外部固定有转板，且转板与转轴之间垂直设置，所述转轴位于两个所述调节板之间，所述调节板靠近转轴的一侧侧壁开设有齿条。

优选的，所述转轴的外侧壁紧配合套接有齿轮，且齿轮与齿条之间啮合传动连接，所述转板远离转轴的一侧侧壁开设有对称设置的第三通孔。

优选的，所述第三通孔的内部滑动套装有卡杆，卡杆的一端延伸至第三通孔外部共同固定有拉板，且拉板与卡杆之间垂直设置。

优选的，所述拉板与转板之间固定有复位弹簧。

优选的，所述固定板的外侧壁沿圆周方向开设有卡槽，且卡杆与卡槽之间卡接设置。

优选的，所述挡板的竖截面为长条形，且挡板与固定板之间垂直设置。

本实用新型有益效果是：

1：通过设置的固定板、滑块、调节板、转板、转轴、齿轮、齿条以及挡板之间的配合，能够对不同大小的极片进行自动定位，提高了定位精度；

2：通过设置的拉板、卡杆、卡槽以及复位弹簧，能够进行快速固定，提高了实用性；

本实用新型能够对不同大小的极片进行自动定位，提高了定位精度，而且能够进行快速固定，提高了实用性。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种光刻机的极片定位装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种光刻机的极片定位装置的A部分放大结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种光刻机的极片定位装置的第一通孔结构侧视图。

图中：1支撑板、2固定板、3第一通孔、4滑块、5调节板、6转轴、7转板、8齿轮、9齿条、10卡杆、11拉板、12复位弹簧、13挡板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。