[实用新型]真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201920716025.X | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN210030874U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 郑威;李锦干;徐华毕 | 申请（专利权）人： | 深圳市华尔利泰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 44581 深圳正和天下专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空镀膜设备，包括真空炉、蒸发热源、冷却装置、以及旋转支架。真空炉内形成有镀膜腔室，蒸发热源设置在真空炉的内壁面上，以将镀膜材料加热蒸发到镀膜腔室内。冷却装置包括在真空炉的外壁面周向分布的至少两组冷却组件，每一冷却组件包括在真空炉的外壁面在竖直方向并排间隔设置的进液通道、出液通道、以及在真空炉的外壁面上由上至下间隔分布的若干冷却支路，冷却支路一端连通进液通道，并由进液通道沿真空炉的外壁向下倾斜连通至出液通道。冷却液进入进液通道，再从各冷却支路分流流到出液通道流出，在冷却液流动过程中，可以将真空炉的热量带走，使真空炉内的温度保持在镀膜需求的范围内，还可开启适当数量的冷却组件冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 真空炉 进液通道 出液通道 冷却支路 冷却组件 冷却装置 蒸发热源 外壁面 外壁 连通 并排间隔设置 真空镀膜设备 本实用新型 冷却液流动 镀膜材料 镀膜腔室 加热蒸发 间隔分布 热量带走 温度保持 向下倾斜 旋转支架 周向分布 镀膜腔 可开启 冷却液 镀膜 两组 内壁 竖直 冷却 流出 室内 分流 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括真空炉(1)、蒸发热源(2)、冷却装置(3)、以及旋转支架(4)；/n所述真空炉(1)内形成有镀膜腔室(11)，所述蒸发热源(2)设置在所述真空炉(1)的内壁面上，以将镀膜材料加热蒸发到所述镀膜腔室(11)内；/n所述冷却装置(3)包括在所述真空炉(1)的外壁面周向分布的至少两组冷却组件(31)，每一冷却组件(31)包括在所述真空炉(1)的外壁面在竖直方向并排间隔设置的进液通道(311)、出液通道(312)、以及在所述真空炉(1)的外壁面上由上至下间隔分布的若干冷却支路(313)，所述冷却支路(313)一端连通所述进液通道(311)，并由所述进液通道(311)沿所述真空炉(1)的外壁向下倾斜连通至所述出液通道(312)；/n所述旋转支架(4)可转动地安装在所述真空炉(1)内，所述旋转支架(4)包括竖直设置的旋转轴(41)，所述旋转轴(41)的轴向上分布有水平伸出的若干组安装臂(42)，供工件安装后随所述旋转支架(4)在所述镀膜腔室(11)内转动，每一组所述安装臂(42)包括在所述旋转轴(41)的周向分布的至少两个安装臂(42)。/n
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- 本实用新型涉及半导体激光器技术领域，公开了一种用于光学腔面镀膜设备的载具，包括两个结构相同且对称连接的凹形夹具；凹形夹具是具有一定厚度的方形块体；块体的上端中心向下开设有一个长度为d的凹槽；bar条的长度为D，D＞d；两个凹形夹具之间设有空隙；空隙内插有两组与空隙等厚的垫片；两组垫片设在凹槽的左右两侧；两组垫片之间的距离W大于凹槽的长度d，且W＝D。本实用新型通过将bar条插入带有凹槽的凹形夹具之间，使bar条的正反面均能够得到蒸镀，提高了蒸镀效率；此外凹形夹具之间的空隙大小可变，通过更换不同厚度的垫片，就可对待蒸镀的bar条厚度和数量进行调节，适用范围广。
- 一种平面蒸发的蒸发源-201920524937.7
- 不公告发明人 - 福建华佳彩有限公司
- 2019-04-17 - 2020-01-17 - C23C14/24
- 本实用新型提供一种平面蒸发的蒸发源，包括加热装置、坩埚和蒸镀板，坩埚的罐口与蒸镀板的底面之间设置有连接导管。先对坩埚内添加蒸镀的材料，继而通过加热装置对坩埚进行加热，使得该材料被加热气化或者升华。蒸镀的气体通过导流板的导流孔进入蒸镀板的空腔内，再通过分散板上的分散孔使得蒸镀的气体均匀分布于蒸镀板的空腔内，继而通过出料口喷出，对基板进行镀膜。因为整个蒸镀板为一个板面同时喷出蒸镀的气体，使得对于外部的基板可以进行均匀的面源蒸镀，提高生产的效率。
- 一种加热源-201920525297.1
- 不公告发明人 - 福建华佳彩有限公司
- 2019-04-17 - 2020-01-17 - C23C14/24
- 本实用新型提供一种加热源，其特征在于：包括流体池、加热装置、加热本体和泵。在流体池内添加低熔点且导热良好的钠、钾金属材料或者合金，因此通过加热装置的加热使得位于流体池内的钠金属材料熔融为液态，当温度达到设定值时，开启第一阀门和第二阀门。继而，使用泵将液态钠经由输入管道输出，使得液态钠由加热本体底面输入于中空结构内，再充满至中空结构的顶部输出管道时，经由输出管道再回流至流体池内，并对回流的液态钠进行再加热，形成一个不间断循环加热的加热源。因为流体加热的方式具有良好的导热性，因此可以实现良好的且均匀的加热，避免坩埚局部温度过高导致材料裂解，提高加热的稳定性。
- 一种蒸镀机构-201920536734.X
- 不公告发明人 - 福建华佳彩有限公司
- 2019-04-19 - 2020-01-17 - C23C14/24
- 本实用新型提供一种蒸镀机构，包括磁板、固定支架、蒸镀坩埚单元、磁性薄膜和真空腔，磁板与竖直面设置有夹角，先在蒸镀的基板的背面上采用蒸镀的方式附上一层磁性薄膜，通过磁性薄膜可以与磁板通过磁吸的原理，将基板完全贴附与磁板上，避免基板发生弯曲的现象。而蒸镀坩埚单元则安装在固定支架上，因为固定支架与磁板相互平行，因此保证了磁板上的基板与固定支架之间的间距相同，进而通过蒸镀坩埚单元进行蒸镀时，可以提高基板蒸镀的质量，同时消除基板的弯曲的问题。
- 薄膜蒸镀装置-201810725430.8
- 刘宇 - 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
- 2018-07-04 - 2020-01-14 - C23C14/24
- 本发明提供一种薄膜蒸镀装置，包括：靶材固定装置，用于沿第一方向固定设置多个组分不同的靶材；衬底承载装置，用于承载待镀膜的衬底且使所述衬底与所述靶材相对设置；以及加热装置，用于对所述靶材进行加热使所述靶材的材料蒸镀于所述衬底上形成薄膜；所述靶材固定装置与所述衬底承载装置能够使所述靶材与所述衬底沿所述第一方向相对运动。
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