[实用新型]晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴

摘要

本实用新型属于晶圆清洗领域，具体地说是一种晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，喷嘴内芯上开设有液体通道，液体由液体通道的一端进入、由位于另一端的喷液口喷出；喷嘴内芯的一端插设于喷嘴外壳中，喷嘴外壳的一端与喷嘴内芯连接，另一端内部连接有喷嘴内塞，喷嘴内塞位于喷嘴外壳与喷嘴内芯之间；喷嘴内塞和喷嘴内芯之间以及喷嘴内塞和喷嘴外壳之间均留有供惰性气体流通的空间，喷嘴外壳上分别开设有与两个空间相连通的惰性气体进气口，喷嘴内塞上开设有布风孔，两个空间通过布风孔连通，两个空间内的惰性气体在布风孔内侧汇合。本实用新型通过改变惰性气体旋转方向及惰性气体加速度，同时配合清洗化学液流量，既对晶圆损伤小，又可以高效清洗晶圆。

主权项

1.一种晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：包括喷嘴内芯(1)、喷嘴外壳(8)及喷嘴内塞(11)，其中喷嘴内芯(1)上开设有液体通道(6)，液体由该液体通道(6)的一端进入、由位于另一端的喷液口(12)喷出；所述喷嘴内芯(1)的一端插设于喷嘴外壳(8)中，该喷嘴外壳(8)的一端与所述喷嘴内芯(1)连接，另一端内部连接有喷嘴内塞(11)，所述喷嘴内塞(11)位于喷嘴外壳(8)与喷嘴内芯(1)之间；所述喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间以及喷嘴内塞(11)和喷嘴外壳(8)之间均留有供惰性气体流通的空间，该喷嘴外壳(8)上分别开设有与喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间的空间以及与喷嘴内塞(11)和喷嘴外壳(8)之间的空间相连通的惰性气体进气口，所述喷嘴内塞(11)上开设有布风孔(7)，喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间的空间与喷嘴内塞(11)和喷嘴外壳(8)之间的空间通过该布风孔(7)连通，喷嘴内塞(11)和喷嘴外壳(8)之间的空间内的惰性气体通过所述布风孔(7)呈旋转状向喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间的空间内进气，与喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间的空间内的惰性气体汇合后，由所述喷液口(12)外围的惰性气体出口(13)喷出，对由所述喷液口(12)喷出的液体雾化，晶圆表面通过被雾化后的液体进行清洗。