[实用新型]一种特殊涂层系统有效
| 申请号： | 201920459667.6 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN209461491U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 王宏宇 | 申请（专利权）人： | 成都拓维高科光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;B05C15/00;B05C13/02;B05D3/04 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 高俊 |
| 地址： | 610000 四川省成都市中国（四川）自由*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种特殊涂层系统；技术方案是：一种特殊涂层系统，包括密闭且相连的进料室、涂层室，进料室与涂层室连接处设有第一封闭门，进料室通过第一开关阀连接有真空泵、通过第二开关阀连接有保护气罐、与第一封闭门相对的一侧设有第二封闭门；涂层室通过第三开关阀与保护气罐连接、内部设置有与涂层原料供应装置相连的可三轴移动的涂层喷头、与第一封闭门相对的一侧设置有第三封闭门；还包括基板传送机构，基板传送机构一侧设于第二封闭门外、另一侧设于第三封闭门外、中部位于进料室和涂层室内。本实用新型可控制有机发光二极管的涂层工艺环境，产品质量高、制造良率高。 | ||
| 搜索关键词： | 封闭门 进料室 涂层系统 涂层室 基板传送机构 本实用新型 开关阀 门外 气罐 有机发光二极管 第一开关 供应装置 内部设置 三轴移动 涂层工艺 涂层喷头 涂层原料 封闭 阀连接 可控制 真空泵 密闭 良率 室内 制造 | ||
【主权项】：
1.一种特殊涂层系统，其特征在于：包括密闭且相连的进料室(1)、涂层室(2)，所述进料室(1)与涂层室(2)连接处设有第一封闭门(3)，所述进料室(1)通过第一开关阀(4)连接有真空泵(5)、通过第二开关阀(6)连接有保护气罐(7)、与第一封闭门(3)相对的一侧设有第二封闭门(8)；所述涂层室(2)通过第三开关阀(9)与保护气罐(7)连接、内部设置有与涂层原料供应装置相连的可三轴移动的涂层喷头(10)、与第一封闭门(3)相对的一侧设置有第三封闭门(11)；还包括基板传送机构(12)，所述基板传送机构(12)一侧设于第二封闭门(8)外、另一侧设于第三封闭门(11)外、中部位于进料室(1)和涂层室(2)内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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H01L51-52 ..器件的零部件
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