[实用新型]一种特殊涂层系统

权利要求书

1.一种特殊涂层系统，其特征在于：包括密闭且相连的进料室(1)、涂层室(2)，所述进料室(1)与涂层室(2)连接处设有第一封闭门(3)，所述进料室(1)通过第一开关阀(4)连接有真空泵(5)、通过第二开关阀(6)连接有保护气罐(7)、与第一封闭门(3)相对的一侧设有第二封闭门(8)；

所述涂层室(2)通过第三开关阀(9)与保护气罐(7)连接、内部设置有与涂层原料供应装置相连的可三轴移动的涂层喷头(10)、与第一封闭门(3)相对的一侧设置有第三封闭门(11)；

还包括基板传送机构(12)，所述基板传送机构(12)一侧设于第二封闭门(8)外、另一侧设于第三封闭门(11)外、中部位于进料室(1)和涂层室(2)内。

2.根据权利要求1所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述涂层室(2)设置第三封闭门(11)的一侧还密封连接有密封的前烘室(13)，所述前烘室(13)依次通过加热器(14)、第四开关阀(15)与保护气罐(7)相连，所述前烘室(13)还连接有由内向外导通的单向阀(16)，所述前烘室(13)通过第五开关阀(21)与真空泵(5)相连，所述前烘室(13)与第三封闭门(11)相对的一侧设置有第四封闭门(17)。

3.根据权利要求2所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述单向阀(16)出口通过空压机(18)连接有保护气收集罐(19)。

4.根据权利要求3所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述第一封闭门(3)、第二封闭门(8)、第三封闭门(11)、第四封闭门(17)均为直线驱动器驱动的滑动式封闭门。

5.根据权利要求4所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述滑动式密封门包括门框(101)、门板(102)，所述门框(101)两侧均设置有供门板(102)滑动的滑槽(103)，所述滑槽(103)内设置有第一密封胶条(104)，所述门板(102)底部设置有第二密封胶条(105)。

6.根据权利要求5所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述第一密封胶条(104)、第二密封胶条(105)为中空的圆柱形橡胶条，且设置有若干与内部空腔相通的消气孔(106)。

7.根据权利要求1所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述基板传送机构(12)为转动辊带动的带传送机构，包括传送带(121)。

8.根据权利要求7所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述涂层室(2)内水平设置有若干支撑滚筒(20)，所述支撑滚筒(20)长度方向与传送带(121)长度方向垂直、且上端抵靠在上层传送带(121)底面。

9.根据权利要求7所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述传送带(121)为不锈钢带。