[实用新型]一种特殊涂层系统

说明书

本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种特殊涂层系统；技术方案是：一种特殊涂层系统，包括密闭且相连的进料室、涂层室，进料室与涂层室连接处设有第一封闭门，进料室通过第一开关阀连接有真空泵、通过第二开关阀连接有保护气罐、与第一封闭门相对的一侧设有第二封闭门；涂层室通过第三开关阀与保护气罐连接、内部设置有与涂层原料供应装置相连的可三轴移动的涂层喷头、与第一封闭门相对的一侧设置有第三封闭门；还包括基板传送机构，基板传送机构一侧设于第二封闭门外、另一侧设于第三封闭门外、中部位于进料室和涂层室内。本实用新型可控制有机发光二极管的涂层工艺环境，产品质量高、制造良率高。

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种OLED特殊涂层系统。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，缩写：OLED)显示技术，具有电压低，视角宽、响应速度快、温度适应性好等优势，是新一代的显示技术。OLED器件通常包括：基板、置于基板上的ITO透明阳极、置于ITO透明阳极上的空穴注入层(HIL)、置于空穴注入层上的空穴传输层(HTL)、置于空穴传输层上的发光层(EML)、置于发光层上的电子传输层(ETL)、置于电子传输层上的电子注入层(EIL)以及置于电子注入层上的阴极。OLED显示屏的制造主要工艺为基板清洗、涂层、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、剥膜，其中对基板的涂层工艺要求甚高。现有的玻璃涂层系统主要包括装载设备、搬运设备、涂层设备及干燥设备等，其中涂层设备的涂层材料出料口可三轴(XYZ轴)移动生产时先将多个基板装载在装载设备中，然后将装载设备搬送到涂层设备中进行涂层处理，完成后再送入下工艺处理。在进行涂层工艺时，通常是在敞开的空气气氛下进行。而本领域人员所知的是，OLED的涂层材料极易被氧化和其它化学过程损坏(例如但不限于，水蒸汽、氧气、臭氧、有机溶剂蒸汽和类似物)，而导致产品质量降级，OLED屏良率低。因此需要一种，可以控制涂层环境的特殊特层系统。

实用新型内容

针对上述OELD显示屏制造过程中，在进行涂层工艺时，容易被环境中的物质影响而导致的降级、良率低的技术问题，本实用新型提供了一种特殊涂层系统，可控制OLED显示屏涂层处理工艺的环境，具有防止OLED显示屏降级、良率高的特点。

本实用新型通过下述技术方案实现：

一种特殊涂层系统，包括密闭且相连的进料室、涂层室，所述进料室与涂层室连接处设有第一封闭门，所述进料室通过第一开关阀连接有真空泵、通过第二开关阀连接有保护气罐、与第一封闭门相对的一侧设有第二封闭门；所述涂层室通过第三开关阀与保护气罐连接、内部设置有与涂层原料供应装置相连的可三轴移动的涂层喷头、与第一封闭门相对的一侧设置有第三封闭门；还包括基板传送机构，所述基板传送机构一侧设于第二封闭门外、另一侧设于第三封闭门外、中部位于进料室和涂层室内。

优选的，所述涂层室设置第三封闭门的一侧还密封连接有密封的前烘室，所述前烘室依次通过加热器、第四开关阀与保护气罐相连，所述前烘室还连接有由内向外导通的单向阀，所述前烘室通过第五开关阀与真空泵相连，所述前烘室与第三封闭门相对的一侧设置有第四封闭门。

优选的，所述单向阀出口通过空压机连接有保护气收集罐。

优选的，所述第一封闭门、第二封闭门、第三封闭门、第四封闭门均为直线驱动器驱动的滑动式封闭门。

优选的，所述滑动式密封门包括门框、门板，所述门框两侧均设置有供门板滑动的滑槽，所述滑槽内设置有第一密封胶条，所述门板底部设置有第二密封胶条。

优选的，所述第一密封胶条、第二密封胶条为中空的圆柱形橡胶条，且设置有若干与内部空腔相通的消气孔。

优选的，所述基板传送机构为转动辊带动的带传送机构，包括传送带。

优选的，所述涂层室内水平设置有若干支撑滚筒，所述支撑滚筒长度方向与传送带长度方向垂直、且上端抵靠在上层传送带底面。