[实用新型]一种半导体晶圆设备搬运的定位夹具

摘要

本实用新型提供一种半导体晶圆设备搬运的定位夹具，包括底板，立柱，支撑板，升降组件，定位组件，电控柜，橡胶垫和气控柜，本实用新型的定位组件，橡胶垫和升降组件的设置，气控柜为定位气缸提供气源，推动三个夹具向中心运动，三个夹紧头对半导体晶圆进行夹紧定位，提高半导体晶圆的定位精度，在压力传感器上设置压力值，当压力值达到设定值时定位气缸停止运行，避免夹具过紧或过松，保证半导体晶圆不受损坏，且保证定位精度，在夹具的下方设置滑块，起到支撑夹具的作用，且使夹具沿着滑槽的方向运行，保证定位组件的定位精度，在导向杆和支撑板的连接处设置橡胶垫，防止导向杆和支撑板直接接触，避免在升降过程中发出噪音。

主权项

1.一种半导体晶圆设备搬运的定位夹具，其特征在于：包括底板(1)，立柱(2)，支撑板(3)，升降组件(4)，定位组件(5)，电控柜(6)，橡胶垫(7)和气控柜(8)，所述立柱(2)采用两个，通过螺栓固定在底板(1)上方的两端；所述支撑板(3)通过螺栓固定在立柱(2)的上方；所述电控柜(6)通过螺栓固定在立柱(2)左侧的下方；所述气控柜(8)通过螺栓固定在立柱(2)左侧的上方；所述升降组件(4)通过螺栓固定在底板(1)上方的中间位置，上端贯穿至支撑板(3)的上端；所述橡胶垫(7)采用三个，卡接在升降组件(4)与支撑板(3)连接处的内侧；所述定位组件(5)采用三个，通过螺栓均匀固定在支撑板(3)上方的圆周上。