[实用新型]一种等离子体刻蚀夹具有效
| 申请号： | 201920426544.2 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN210006750U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 刘权辉;周超 | 申请（专利权）人： | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 314416 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子体刻蚀夹具，包括通过连接杆垂直连接的平行设置的上夹具板、下夹具板，还包括设置在所述上夹具板和/或所述下夹具板内表面的挡板，所述挡板与放置在所述上夹具板与所述下夹具板之间的硅片的外形匹配，所述凹槽与所述硅片的外形匹配。所述等离子体刻蚀夹具，通过在上夹具板和/或所述下夹具板内表面设置挡板，而挡板与需要进行等离子刻蚀的硅片的外形匹配，这样在进行等离子体刻蚀过程中，对于上夹具板、下夹具板就能够减少或避免，提高使用寿命，减少更换频率，只需要在对于不同型号的硅片进行等离子刻蚀时，只需更换不同型号规格的挡板即可，提高了刻蚀工艺的方便性，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 挡板 上夹具板 下夹具板 硅片 等离子体刻蚀 外形匹配 夹具 等离子刻蚀 内表面 本实用新型 垂直连接 更换频率 刻蚀工艺 平行设置 使用寿命 方便性 连接杆 生产成本 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体刻蚀夹具，其特征在于，包括通过连接杆垂直连接的平行设置的上夹具板、下夹具板，还包括设置在所述上夹具板和/或所述下夹具板内表面的挡板，所述挡板与放置在所述上夹具板与所述下夹具板之间的硅片的外形匹配，还包括设置在所述挡板表面的凹槽，所述凹槽与所述硅片的外形匹配。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
