[实用新型]一种硅片载体花篮的卡牙

摘要

本实用新型涉及硅片生产领域。一种硅片载体花篮的卡牙，卡牙底部通过焊接或者一体化连接安装在载体花篮的侧栏上，该卡牙整体呈斧头状，顶部窄长底部宽短，在正视图中显示为倒梯形，侧视图中为三角形，底部为矩形。本实用新型可以在保证硅片之间足够间隔隔离的情况下，尽可能的减少了硅片与载体花篮卡牙之间的接触，保证化学品药液和热风烘干时，卡牙处硅片表面足够的流动性，避免了卡牙对硅片表面的污染，避免硅片表面的各种外观异常。