[实用新型]一种化学药液混合装置及湿法刻蚀装置有效
| 申请号： | 201920391750.4 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN211159328U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 王春伟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B01F7/00 | 分类号： | B01F7/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201314*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及集成电路制造中湿法清洗工艺技术领域，尤其涉及一种化学药液混合装置及应用该种化学药液混合装置的湿法刻蚀装置，该种化学药液混合装置包括：一搅拌器，搅拌器设置于一混合容器内；一发动机，发动机的输出端连接搅拌器的输入端。本实用新型技术方案的有益效果在于：在湿法清洗工艺中利用该装置对化学药液进行快速搅拌，以使化学药液尽快达到稳定的浓度，既可以提高生产效率，也可使晶圆的表面更平整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 药液 混合 装置 湿法 刻蚀 | ||
【主权项】：
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