[实用新型]一种化学药液混合装置及湿法刻蚀装置有效
| 申请号： | 201920391750.4 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN211159328U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 王春伟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B01F7/00 | 分类号： | B01F7/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201314*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 药液 混合 装置 湿法 刻蚀 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学药液混合装置，应用于湿法刻蚀装置，其特征在于，包括：
一搅拌器，所述搅拌器设置于一混合容器内，所述混合容器的一端连接复数个化学液容器，所述混合容器的另一端连接一清洗槽；
一发动机，所述发动机的输出端连接所述搅拌器的输入端。
2.根据权利要求1所述的化学药液混合装置，其特征在于，所述发动机的输入端连接一外接电源。
3.根据权利要求1所述的化学药液混合装置，其特征在于，所述发动机的输入端还设有一调频器。
4.根据权利要求2所述的化学药液混合装置，其特征在于，所述外接电源包括直流电源或交流电源。
5.根据权利要求3所述的化学药液混合装置，其特征在于，所述调频器连接控制终端。
6.一种湿法刻蚀装置，其特征在于，包括如权利要求1-5中任一所述的化学药液混合装置。
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