[实用新型]一种应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极有效
| 申请号： | 201920259150.2 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN209923422U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 许世鹏;陈维铅;李玉宏 | 申请（专利权）人： | 许世鹏 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 51254 成都拓荒者知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 735099 甘肃省酒泉*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，包括安装在真空腔室顶端的阳极，及安装在真空腔室底端的阴极；所述阳极设置为螺旋电极，且与射频电源连接；所述阴极设置为样品台，且与脉冲偏压电源电连接。本实用新型利用螺旋电极作为电极阳极，样品台作为电极阴极，能够与中频磁控溅射技术良好结合，具有结构简单、基材温升低、膜基结合好、成膜均匀，工艺可重复性好，易于精确控制镀层厚度，易于控制元素掺杂量等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 本实用新型 阳极 螺旋电极 真空腔室 样品台 类金刚石薄膜 脉冲偏压电源 中频磁控溅射 电极阳极 电极阴极 可重复性 控制元素 射频电源 制备设备 电极 掺杂量 电连接 成膜 镀层 基材 膜基 温升 掺杂 应用 | ||
【主权项】：
1.一种应用于掺杂类金刚石薄膜制备设备的电极，其特征在于，包括用于安装在真空腔室(1)顶端的阳极，以及用于安装在真空腔室(1)底端的阴极；所述阳极设置为螺旋电极(2)，且与射频电源电连接；所述阴极设置为样品台(3)，且附加有脉冲负偏压。/n
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