[实用新型]功率晶体管装置有效
申请号: | 201920242396.9 | 申请日: | 2019-02-26 |
公开(公告)号: | CN209487515U | 公开(公告)日: | 2019-10-11 |
发明(设计)人: | 陈劲甫;陈志宏 | 申请(专利权)人: | 力智电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/423 | 分类号: | H01L29/423 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 李小波;臧建明 |
地址: | 中国台湾新竹县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型提供一种功率晶体管装置包括:基底、掺杂区、栅极结构、第一导电插塞以及多个第二导电插塞。基底具有沟槽。掺杂区位于沟槽两侧的基底中。栅极结构位于沟槽中。第一导电插塞位于栅极结构中。第一导电插塞的电阻值低于栅极结构的电阻值。第二导电插塞分别位于掺杂区中。 | ||
搜索关键词: | 导电插塞 栅极结构 掺杂区 基底 功率晶体管装置 电阻 本实用新型 | ||
【主权项】:
1.一种功率晶体管装置,其特征在于,包括:基底,具有沟槽;掺杂区,位于所述沟槽两侧的所述基底中;栅极结构,位于所述沟槽中;第一导电插塞,位于所述栅极结构中,其中所述第一导电插塞的电阻值低于所述栅极结构的电阻值;以及多个第二导电插塞,分别位于所述掺杂区中。
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