[实用新型]一种晶圆片输送机构有效
| 申请号： | 201920214938.1 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN209266379U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 陈义红;李贵林;陈聪;李陵江 | 申请（专利权）人： | 广州安特激光技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 黄为 |
| 地址： | 510000 广东省广州市广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆片输送机构，包括安装架，所述安装架上边缘水平设有一在驱动机构的作用下直线往复移动的承托平台；所述安装架上部和承托平台上分别设有位于同一高度且轴线水平延伸的第一转向辊和导轮；还包括沿承托平台的移动方向布置且套设在第一转向辊和导轮上的送料皮带，安装架上还设有送料皮带的动力装置和皮带收紧装置。本实用新型提供的一种晶圆片输送机构，其结构巧妙，能够代替人工转移晶圆片，避免手工转运晶圆片产生损坏，同时还提高了整个晶圆片生产线的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 安装架 承托平台 输送机构 圆片 种晶 本实用新型 送料皮带 晶圆片 转向辊 导轮 直线往复移动 动力装置 驱动机构 生产效率 收紧装置 水平设有 移动方向 整个晶圆 轴线水平 上边缘 皮带 转运 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆片输送机构，包括安装架，其特征在于，所述安装架上边缘水平设有一在驱动机构(31)的作用下直线往复移动的承托平台(4)；所述安装架上部和承托平台(4)上分别设有位于同一高度且轴线水平延伸的第一转向辊(21)和导轮(411)；还包括沿承托平台(4)的移动方向布置且套设在第一转向辊(21)和导轮(411)上的送料皮带(5)，安装架上还设有送料皮带(5)的动力装置(6)和皮带收紧装置(7)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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