[实用新型]一种可切换提升方式的单晶炉水冷热屏装置有效
| 申请号： | 201920201634.1 | 申请日： | 2019-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN209974965U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;王小飞;叶雷江;春伟博 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 33212 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于单晶硅生产设备领域，具体涉及一种可切换提升方式的单晶炉水冷热屏装置。包括水冷热屏；水冷热屏包括相互套设的内锥筒与外锥筒与进水管与出水管；顶端设有热场上保温盖；提升杆内部中空，套设于进水管与出水管外；提升机构与提升杆上部相连；步进电机输出轴与提升杆顶端相连，提升块通过连杆设于提升杆底端；热场上保温盖上设有通孔，连杆设于通孔内。本实用新型利用水冷热屏装置自带的旋转提升机构切换提升方式，达到可单独提升水冷热屏装置或同时提升水冷热屏装置和热场上保温盖及导流筒的效果，以此来控制炉室内的温度梯度，使得拉晶速度提升，降低能耗，同时也可以在不加大坩埚尺寸的前提下多次加装料，大大增加产能。 | ||
| 搜索关键词： | 冷热 提升杆 保温盖 本实用新型 出水管 进水管 通孔 步进电机输出轴 单晶硅生产设备 内部中空 速度提升 提升机构 温度梯度 旋转提升 装料 单晶炉 导流筒 可切换 控制炉 内锥筒 外锥筒 产能 底端 拉晶 自带 坩埚 室内 | ||
【主权项】：
1.一种可切换提升方式的单晶炉水冷热屏装置，其特征在于，包括水冷热屏、热屏提升装置和旋转提升机构；/n所述水冷热屏包括锥筒结构，锥筒结构为由相互套设的内锥筒与外锥筒组成的双层结构，内锥筒与外锥筒间设有水道，水道进出水口分别连接进水管与出水管；锥筒结构顶端设有热场上保温盖，锥筒结构底部外套设有内导流筒与外导流筒，内导流筒与外导流筒顶端与热场上保温盖固连；/n所述热屏提升装置包括提升机构与提升杆；提升杆内部中空，套设于进水管与出水管外；提升机构与提升杆上部相连；/n所述旋转提升机构包括两套对称的结构，均包括步进电机和提升块，步进电机输出轴与提升杆顶端相连，提升块通过连杆设于提升杆底端；所述热场上保温盖上设有通孔，所述连杆设于通孔内。/n
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