[实用新型]一种可切换提升方式的单晶炉水冷热屏装置有效

专利信息
申请号: 201920201634.1 申请日: 2019-02-15
公开(公告)号: CN209974965U 公开(公告)日: 2020-01-21
发明(设计)人: 曹建伟;傅林坚;胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;王小飞;叶雷江;春伟博 申请(专利权)人: 浙江晶盛机电股份有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B15/00
代理公司: 33212 杭州中成专利事务所有限公司 代理人: 周世骏
地址: 312300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 冷热 提升杆 保温盖 本实用新型 出水管 进水管 通孔 步进电机输出轴 单晶硅生产设备 内部中空 速度提升 提升机构 温度梯度 旋转提升 装料 单晶炉 导流筒 可切换 控制炉 内锥筒 外锥筒 产能 底端 拉晶 自带 坩埚 室内
【权利要求书】:

1.一种可切换提升方式的单晶炉水冷热屏装置,其特征在于,包括水冷热屏、热屏提升装置和旋转提升机构;

所述水冷热屏包括锥筒结构,锥筒结构为由相互套设的内锥筒与外锥筒组成的双层结构,内锥筒与外锥筒间设有水道,水道进出水口分别连接进水管与出水管;锥筒结构顶端设有热场上保温盖,锥筒结构底部外套设有内导流筒与外导流筒,内导流筒与外导流筒顶端与热场上保温盖固连;

所述热屏提升装置包括提升机构与提升杆;提升杆内部中空,套设于进水管与出水管外;提升机构与提升杆上部相连;

所述旋转提升机构包括两套对称的结构,均包括步进电机和提升块,步进电机输出轴与提升杆顶端相连,提升块通过连杆设于提升杆底端;所述热场上保温盖上设有通孔,所述连杆设于通孔内。

2.根据权利要求1所述的一种可切换提升方式的单晶炉水冷热屏装置,其特征在于,所述内导流筒与外导流筒间填充有保温材料。

3.根据权利要求1所述的一种可切换提升方式的单晶炉水冷热屏装置,其特征在于,所述进水管和出水管与其它组件连接处均焊设有加强筋。

4.根据权利要求1所述的一种可切换提升方式的单晶炉水冷热屏装置,其特征在于,所述热场上保温盖上的通孔为条形或十字形,提升块的横截面形状与通孔形状相同,且通孔尺寸大于提升块横截面尺寸。

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