[实用新型]一种可切换提升方式的单晶炉水冷热屏装置有效
| 申请号: | 201920201634.1 | 申请日: | 2019-02-15 |
| 公开(公告)号: | CN209974965U | 公开(公告)日: | 2020-01-21 |
| 发明(设计)人: | 曹建伟;傅林坚;胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;王小飞;叶雷江;春伟博 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司: | 33212 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人: | 周世骏 |
| 地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 冷热 提升杆 保温盖 本实用新型 出水管 进水管 通孔 步进电机输出轴 单晶硅生产设备 内部中空 速度提升 提升机构 温度梯度 旋转提升 装料 单晶炉 导流筒 可切换 控制炉 内锥筒 外锥筒 产能 底端 拉晶 自带 坩埚 室内 | ||
1.一种可切换提升方式的单晶炉水冷热屏装置,其特征在于,包括水冷热屏、热屏提升装置和旋转提升机构;
所述水冷热屏包括锥筒结构,锥筒结构为由相互套设的内锥筒与外锥筒组成的双层结构,内锥筒与外锥筒间设有水道,水道进出水口分别连接进水管与出水管;锥筒结构顶端设有热场上保温盖,锥筒结构底部外套设有内导流筒与外导流筒,内导流筒与外导流筒顶端与热场上保温盖固连;
所述热屏提升装置包括提升机构与提升杆;提升杆内部中空,套设于进水管与出水管外;提升机构与提升杆上部相连;
所述旋转提升机构包括两套对称的结构,均包括步进电机和提升块,步进电机输出轴与提升杆顶端相连,提升块通过连杆设于提升杆底端;所述热场上保温盖上设有通孔,所述连杆设于通孔内。
2.根据权利要求1所述的一种可切换提升方式的单晶炉水冷热屏装置,其特征在于,所述内导流筒与外导流筒间填充有保温材料。
3.根据权利要求1所述的一种可切换提升方式的单晶炉水冷热屏装置,其特征在于,所述进水管和出水管与其它组件连接处均焊设有加强筋。
4.根据权利要求1所述的一种可切换提升方式的单晶炉水冷热屏装置,其特征在于,所述热场上保温盖上的通孔为条形或十字形,提升块的横截面形状与通孔形状相同,且通孔尺寸大于提升块横截面尺寸。
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