[实用新型]一种基片台及其装置有效
| 申请号： | 201920181217.5 | 申请日： | 2019-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN209669348U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 龚闯;吴剑波;朱长征;余斌 | 申请（专利权）人： | 上海征世科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/511;C23C16/513;C23C16/517;C23C16/27 |
| 代理公司： | 31253 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人： | 冯子玲<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 201799 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基片台，用于承载圆片，所述基片台上表面呈圆形，所述基片台直径大于所述圆片，所述基片台的圆形边缘设有一个环形的凹坑，所述凹坑中填充有无机材料。由于微波激发的等离子体球是一个能量密度不均匀的球形体，导致对基片台上工件的热辐射量也是分布不均匀的。为了保证整个基片台表面有一个比较均匀一致的温度，利用金刚石的高热导能力，将金刚石圆片作为基片台表面导热材料，下面是埋有水冷凝管的导热金属，金刚石圆片与导热金属之间有一层提高附着力的金属薄膜。金刚石圆片边缘与基片台边缘有一个环形的空隙，缝隙中填充有一种耐高温、惰性的无机材料。 | ||
| 搜索关键词： | 基片台 金刚石圆片 导热金属 无机材料 不均匀 凹坑 圆片 填充 附着力 本实用新型 等离子体球 导热材料 金属薄膜 均匀一致 热辐射量 水冷凝管 微波激发 圆形边缘 金刚石 惰性的 耐高温 球形体 高热 承载 保证 | ||
【主权项】：
1.一种基片台，用于承载圆片，其特征在于，所述基片台上表面呈圆形，所述基片台直径大于所述圆片，所述基片台的圆形边缘设有一个环形的凹坑，所述凹坑中填充有无机材料。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
