[实用新型]一种晶圆的拼接切割装置有效
申请号: | 201920122040.1 | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN209718276U | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 王祖传;陈兴红;卢瑾;高媛;陈强 | 申请(专利权)人: | 深圳市正和兴电子有限公司 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04 |
代理公司: | 11427 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 陈娟<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶圆的拼接切割装置,包括外框,转动轴的顶部固定连接有锥形工作台,锥形工作台顶部中央位置相对应的两侧均固定连接有固定套,锥形工作台顶部相对应的两侧均滑动连接有滑动板,滑动板的顶部中央位置固定连接有夹紧装置,第一电动伸缩杆的工作端与有滑动板的表面一侧固定连接,外框的内壁顶部一侧固定连接有自动伸缩装置,自动伸缩装置的底部固定连接有电机,电机的输出轴固定连接有切割片,本实用新型涉及晶圆加工技术领域。该一种晶圆的拼接切割装置,达到了拼接晶轴一致,自动加工的效果,结构合理简单,使用方便,拼接效果好,提高了产品的拼接质量,降低了人工劳动,省时省力,提高工作效率。 | ||
搜索关键词: | 拼接 锥形工作台 滑动板 顶部中央位置 自动伸缩装置 本实用新型 切割装置 外框 种晶 电机 电动伸缩杆 工作效率 滑动连接 夹紧装置 晶圆加工 内壁顶部 自动加工 工作端 固定套 切割片 输出轴 转动轴 晶轴 省力 省时 劳动 | ||
【主权项】:
1.一种晶圆的拼接切割装置,包括外框(1),其特征在于:所述外框(1)的内壁底部中央位置转动连接有转动轴(2),所述转动轴(2)的顶部固定连接有锥形工作台(3),所述锥形工作台(3)顶部中央位置相对应的两侧均固定连接有固定套(4),所述锥形工作台(3)顶部相对应的两侧均滑动连接有滑动板(5),所述滑动板(5)的顶部中央位置固定连接有夹紧装置(6),所述锥形工作台(3)顶部相对应的两侧均且靠近边缘位置固定连接有第一电动伸缩杆(7),所述第一电动伸缩杆(7)的工作端与有滑动板(5)的表面一侧固定连接,所述外框(1)的内壁顶部一侧固定连接有自动伸缩装置(8),所述自动伸缩装置(8)的底部固定连接有电机(9),所述电机(9)的输出轴固定连接有切割片(10);/n所述夹紧装置(6)包括第二电动伸缩杆(61),所述第二电动伸缩杆(61)的表面与滑动板(5)的顶部固定连接,所述第二电动伸缩杆(61)的工作端固定连接有滑动齿(62),所述滑动齿(62)的底部与滑动板(5)的顶部滑动连接,所述滑动齿(62)远离第二电动伸缩杆(61)的一侧固定连接有夹紧齿(63)。/n
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