[实用新型]一种晶圆的拼接切割装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆的拼接切割装置，包括外框，转动轴的顶部固定连接有锥形工作台，锥形工作台顶部中央位置相对应的两侧均固定连接有固定套，锥形工作台顶部相对应的两侧均滑动连接有滑动板，滑动板的顶部中央位置固定连接有夹紧装置，第一电动伸缩杆的工作端与有滑动板的表面一侧固定连接，外框的内壁顶部一侧固定连接有自动伸缩装置，自动伸缩装置的底部固定连接有电机，电机的输出轴固定连接有切割片，本实用新型涉及晶圆加工技术领域。该一种晶圆的拼接切割装置，达到了拼接晶轴一致，自动加工的效果，结构合理简单，使用方便，拼接效果好，提高了产品的拼接质量，降低了人工劳动，省时省力，提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆的拼接切割装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，随着人们对延芯片的需求量越来越大，对衬底用蓝宝石晶圆棒质量的要求也越来越高。目前，市场上现有的晶圆棒加工装置结构复杂，使用不方便，功能单一，只能进行当方便加工，不能实现拼接切割为一体，增加了企业投资成本，需要先切割再进行拼接，夹紧不牢固，需要大量人工劳动，费时费力，工作效率低，而且易造成后续粘接晶圆棒切割后晶圆片晶向超差，拼接晶圆棒晶轴不一致，严重影响产品质量，造成经济损失。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆的拼接切割装置，解决了结构复杂，使用不方便，功能单一，只能进行当方便加工，不能实现拼接切割为一体，增加了企业投资成本，夹紧不牢固，需要先切割再进行拼接，需要大量人工劳动，费时费力，工作效率低，而且易造成后续粘接晶圆棒切割后晶圆片晶向超差，拼接晶圆棒晶轴不一致，严重影响产品质量，造成经济损失的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆的拼接切割装置，包括外框，所述外框的内壁底部中央位置转动连接有转动轴，所述转动轴的顶部固定连接有锥形工作台，所述锥形工作台顶部中央位置相对应的两侧均固定连接有固定套，所述锥形工作台顶部相对应的两侧均滑动连接有滑动板，所述滑动板的顶部中央位置固定连接有夹紧装置，所述锥形工作台顶部相对应的两侧均且靠近边缘位置固定连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的工作端与有滑动板的表面一侧固定连接，所述外框的内壁顶部一侧固定连接有自动伸缩装置，所述自动伸缩装置的底部固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有切割片；

所述夹紧装置包括第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的表面与滑动板的顶部固定连接，所述第二电动伸缩杆的工作端固定连接有滑动齿，所述滑动齿的底部与滑动板的顶部滑动连接，所述滑动齿远离第二电动伸缩杆的一侧固定连接有夹紧齿。

优选的，所述转动轴的表面且靠近锥形工作台的位置转动连接有支撑杆，所述支撑杆远离转动轴的一端与外框的内壁一侧固定连接，所述外框的内壁底部一侧固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有第一锥形齿轮，所述转动轴的表面且靠近支撑杆的位置固定连接有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮与第一锥形齿轮啮合连接。

优选的，所述固定套的内壁固定连接有摩擦凸点，所述摩擦凸点均匀分布在固定套的内壁。

优选的，所述外框底部相对应的位置均固定连接有底座。

优选的，所述自动伸缩装置包括支撑条，所述支撑条的顶部与外框的内壁顶部一侧固定连接，所述支撑条表面相对应的两侧均固定连接有第三电动伸缩杆，所述第三电动伸缩杆的工作端固定连接有连接杆，所述连接杆远离第三电动伸缩杆的一端转动连接有菱形伸缩架，所述菱形伸缩架远离连接杆的一端转动连接有支撑滑块，所述支撑滑块的表面滑动连接有支撑板，所述支撑板的顶部开设有与支撑滑块相适配的滑动槽。