[实用新型]一种晶圆的拼接切割装置

权利要求书

1.一种晶圆的拼接切割装置，包括外框(1)，其特征在于：所述外框(1)的内壁底部中央位置转动连接有转动轴(2)，所述转动轴(2)的顶部固定连接有锥形工作台(3)，所述锥形工作台(3)顶部中央位置相对应的两侧均固定连接有固定套(4)，所述锥形工作台(3)顶部相对应的两侧均滑动连接有滑动板(5)，所述滑动板(5)的顶部中央位置固定连接有夹紧装置(6)，所述锥形工作台(3)顶部相对应的两侧均且靠近边缘位置固定连接有第一电动伸缩杆(7)，所述第一电动伸缩杆(7)的工作端与有滑动板(5)的表面一侧固定连接，所述外框(1)的内壁顶部一侧固定连接有自动伸缩装置(8)，所述自动伸缩装置(8)的底部固定连接有电机(9)，所述电机(9)的输出轴固定连接有切割片(10)；

所述夹紧装置(6)包括第二电动伸缩杆(61)，所述第二电动伸缩杆(61)的表面与滑动板(5)的顶部固定连接，所述第二电动伸缩杆(61)的工作端固定连接有滑动齿(62)，所述滑动齿(62)的底部与滑动板(5)的顶部滑动连接，所述滑动齿(62)远离第二电动伸缩杆(61)的一侧固定连接有夹紧齿(63)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆的拼接切割装置，其特征在于：所述转动轴(2)的表面且靠近锥形工作台(3)的位置转动连接有支撑杆(11)，所述支撑杆(11)远离转动轴(2)的一端与外框(1)的内壁一侧固定连接，所述外框(1)的内壁底部一侧固定连接有伺服电机(12)，所述伺服电机(12)的输出轴固定连接有第一锥形齿轮(13)，所述转动轴(2)的表面且靠近支撑杆(11)的位置固定连接有第二锥形齿轮(14)，所述第二锥形齿轮(14)与第一锥形齿轮(13)啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆的拼接切割装置，其特征在于：所述固定套(4)的内壁固定连接有摩擦凸点(15)，所述摩擦凸点(15)均匀分布在固定套(4)的内壁。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆的拼接切割装置，其特征在于：所述外框(1)底部相对应的位置均固定连接有底座(16)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆的拼接切割装置，其特征在于：所述自动伸缩装置(8)包括支撑条(81)，所述支撑条(81)的顶部与外框(1)的内壁顶部一侧固定连接，所述支撑条(81)表面相对应的两侧均固定连接有第三电动伸缩杆(82)，所述第三电动伸缩杆(82)的工作端固定连接有连接杆(83)，所述连接杆(83)远离第三电动伸缩杆(82)的一端转动连接有菱形伸缩架(84)，所述菱形伸缩架(84)远离连接杆(83)的一端转动连接有支撑滑块(85)，所述支撑滑块(85)的表面滑动连接有支撑板(86)，所述支撑板(86)的顶部开设有与支撑滑块(85)相适配的滑动槽。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆的拼接切割装置，其特征在于：所述锥形工作台(3)顶部开设有与滑动板(5)相适配的滑动槽，所述滑动板(5)顶部开设有与滑动齿(62)底部相适配的滑动槽。