[实用新型]批次基板干燥设备及其基板干燥风刀装置有效
| 申请号： | 201920091948.0 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN209371673U | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 黄立佐;林秀雯;张修凯 | 申请（专利权）人： | 弘塑科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/08 | 分类号： | F26B9/08;F26B21/00;F26B25/18 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种批次基板干燥设备，包括一槽体、一晶舟、以及一基板干燥风刀装置。所述晶舟设置在所述槽体内，且用于承载多片基板。所述基板干燥风刀装置，设置在所述容室内，位于所述晶舟上方，且包括多个风刀单元。所述各所述风刀单元具有弧形气室具弧形出风口以输出弧形风刀到基板上。所述基板干燥风刀装置可吹出立体状片状的多道风刀以均匀快速地干燥基板。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 干燥风刀 晶舟 基板干燥设备 风刀单元 风刀 本实用新型 弧形出风口 多片基板 干燥基板 弧形气室 立体状 槽体 吹出 承载 体内 室内 输出 | ||
【主权项】：
1.一种批次基板干燥设备，其特征在于：所述批次基板干燥设备包括：一槽体，其内形成一容室；一晶舟，以可拆卸方式设置在所述容室内，且用于承载多片基板；以及一基板干燥风刀装置，设置在所述容室内，位于所述晶舟上方，且包括：多个风刀单元，所述多个风刀单元相互并排设置，各所述风刀单元具有一弧形气室，所述弧形气室具有一弧形出风口，其中所述弧形气室用于产生立体弧形风刀并将所述立体弧形风刀吹送到所述多个基板的至少其中之一上；以及一主供气管，连接所述多个风刀单元，并用于连接一外部气源，以对所述多个弧形气室供气。
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